Tunnelmagnetoresistive Materialien für Anwendungen in der Sensorik

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Paul, Johannes; Gerken, Anna (Sensitec GmbH, 55131 Mainz, Deutschland)

Inhalt:
Magnetoresistive Sensoren, kurz MR-Sensoren, eignen sich zur Messung von Magnetfeldern, da ihr elektrischer Widerstand von Betrag und Richtung eines äußeren Magnetfeldes abhängt. Sensoren, die auf dem tunnelmagnetoresistiven Effekt (TMR) basieren, grenzen sich aufgrund ihrer Dimension und der Größe des MREffektes von Sensoren ab, die den AMR- oder GMR- Effekt (anisotroper bzw. gigantischer magnetoresistiver Effekt) nutzen. Diese Besonderheiten können in innovative Produkte münden, z.B. Arrays von Pixelsensoren für bildgebende Verfahren oder Drehgeber in Fahrzeugen in bisher unzugänglichen Temperaturbereichen.