Thermoelektrische Generatoren in Standard Silizium/Aluminium Technologie
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Glosch, Hartmut; Billat, Sophie; Auber, Johannes; Ashauer, Matthias (Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (HSG-IMIT), Wilhelm-Schickard-Strasse 10, 78052 Villingen-Schwenningen)
Inhalt:
Thermoelektrische Generatoren wandeln eine durch sie hindurch fließende Wärmeleistung in eine elektrische Leistung (Seebeck–Effekt). Die Effektivität wird durch die Materialeigenschaften der verwendeten Thermoelemente bestimmt. Standard sind heute Wismut/Antimon/Tellurid-Verbindungen. An effektiveren Materialien wird weltweit intensiv geforscht. Die Materialpaarung Silizium / Aluminium weist einen wesentlich geringeren Wirkungsgrad auf, besitzt jedoch den entscheidenden Vorteil, dass damit thermoelektrische Generatoren in Standard- Siliziumtechnologie in nahezu jeder MST- bzw. Mikroelektronik-Foundry produziert werden können. Die Fertigung, auch größerer Stückzahlen, ist somit einfach, zuverlässig und vergleichsweise preiswert möglich.