Mikrostrukturierte Dünnschicht-Thermogeneratoren mit hoher Flächendichte an Thermopaaren für energieautarke Sensorsysteme
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Böttner, Harald (Fraunhofer Institut Physikalische Messtechnik IPM, Abteilung Thermoelektrische Systeme, Heidenhofstraße 8, 79110 Freiburg, Germany)
Nurnus, Joachim; Schubert, Axel; Volkert, Fritz (Micropelt GmbH, Emmy-Noether-Staße 2, 79110 Freiburg, Germany)
Inhalt:
Thermoelektrische Dünnfilmbauelemente mit einer hohen Packungsdichte der thermoelektrischen Einheiten sind von hoher Wichtigkeit für energieautarke Sensor Systeme mit drahtlosem Datentransfer. Eine mögliche technische Lösung für solche Mikrobauelemente wird durch die sog. Micropelt-Technologie bereit gestellt. Durch bis zu 100 Schenkelpaaren pro mm2 können Spannungen bis zu 2,3 Volt bei 10 K Temperaturdifferenz können erreicht werden. Im angepassten Fall erreichen diese Thermogeneratoren bei gleicher Temperaturdifferenz 2,8 mW. Damit sind sie geeignet als Energieversorgung von energieautarken Systemen für drahtlosen Datentransfer.