Galvanische Abformung von mikro- und nanostrukturiertem Silizium für die Herstellung metallischer Formwerkzeuge

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Die thermische Nanoimprint-Technologie nutzt mikro- und nanostrukturierte Form- bzw. Stempelwerkzeuge für die Herstellung von polymeren Submikrometerstrukturen, die immer häufiger als funktionale Komponenten in Mikrosystemen eingesetzt werden. Das hier vorgestellte Verfahren nutzt mikro- und nanostrukturiertes Silizium und einen optimierten Galvanik-Prozess, um metallische Formwerkzeuge aus Nickel mit Strukturen im Mikround Nanometerbereich herzustellen. Neben der Charakterisierung des Schichtwachstums in Nanokavitäten während der galvanischen Abscheidung wird die erfolgreiche Herstellung von Nickelstrukturen im Sub-100 nm- Bereich durch verschiedene Beispiele dargestellt.