Design, Herstellung und Charakterisierung von SU-8 Cantilevern für AFM-Anwendungen

Inhalt:
Die SU-8-Technologie gestattet es, hochpräzise miniaturisierte polymere 3D-Bauteile kostengünstig herzustellen, als Beispiel und Demonstrator dieser Technologie dient der SU-8-AFM-Cantilever als Alternative zum üblichen Material. Zumal SU-8 einfach zu prozessieren ist und eine hohe chemische und thermische Stabilität sowie gute mechanische Eigenschaften zeigt. Jedoch hängen diese sehr stark von den Prozessbedingungen ab: insbesondere von Softbaketemperatur, Belichtungsdosis und Art der Temperaturprozesse. So wurde ein optimierter Prozess zur Herstellung von freitragenden Biegebalken und weiteren mikromechanischen Bauteilen wie z.B. Chipträgern entwickelt. Die AFM-Cantilever wurden in verschiedenen AFM-Mikroskopen eingesetzt. Die dabei erhaltenen Scans wie auch die thermische Resonanz zur Bestimmung der Federkonstanten sind exemplarisch dargestellt.