Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen

Inhalt:
Aufgrund der zunehmenden Miniaturisierung in allen Bereichen der Technik gewinnen Fertigungsverfahren für Mikrosysteme immer mehr an Bedeutung. Die Dimensionen stellen dabei besondere Anforderungen an die Fertigungsverfahren. Im Rahmen der DFG-Forschergruppe 702 beschäftigen sich die beteiligten Wissenschaftler mit neuartigen Maschinen-, Werkzeug- und Prozesskonzepten zur Herstellung von Mikrobauteilen aus Kunststoffen, Metallen und Keramiken über eine flüssige Phase. Die Erkenntnisse der Arbeiten werden unter Berücksichtigung der jeweiligen mikrotechnologischen Besonderheiten und Einsatzmöglichkeiten der Konzepte in der Fertigung von Bauteilen eines gemeinsamen Demonstrators umgesetzt. Der in Form eines Mikrogreifers realisierte Aktor zeigt die Funktionalität der betrachteten einzelnen Fertigungsansätze und stellt die Möglichkeit ihrer Verknüpfung untereinander dar.