Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

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Autoren:
Loechel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph; Rudolph, Ivo; Kutz, Oliver; Mucha, Sebastian; Schondelmaier, Daniel; Scheunemann, Heinz-Ulrich (BESSY GmbH, Anwenderzentrum für Mikrotechnik, Berlin, Deutschland)

Inhalt:
Seit seiner Entwicklung Mitte der 80er Jahre des vergangenen Jahrhunderts ist das LIGA-Verfahren als mikrotechnische Herstellungsmethode bekannt. Es zeichnet sich vor allem dadurch aus, dass extrem hohe Strukturen mit hohen Aspektverhältnissen in höchster Präzision hergestellt werden können. Neue Entwicklungen der letzten Jahre wie das Direkt-LIGA-Verfahren haben LIGA flexibler und kostengünstiger und damit für industrielle Anwendungen interessanter gemacht.