Vorrichtung zur parallelen Montage von Mikro-Kraftsensorarrays und taktilen Elementen
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
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Autoren:
Krah, T.; Büttgenbach, S. (Institut für Mikrotechnik, Technische Universität Braunschweig, Deutschland)
Inhalt:
In diesem Artikel werden Vorrichtungen zur parallelen Montage von Mikro-Kraftsensorarrays und taktilen Elementen vorgestellt. Die hier ebenfalls kurz beschriebenen Kraftsensorarrays sollen in erster Linie in der dimensionellen Messtechnik zum Einsatz kommen, weshalb eine präzise Anordnung der taktilen Elemente in einem vorgegebenen Raster notwendig ist, um Messabweichungen möglichst gering zu halten. Damit dies gewährleistet werden kann, sind Montagevorrichtungen aus SU-8 und Silizium hergestellt und in einem Versuchsaufbau auf ihre Eignung überprüft worden.