Fehlerlokalisierung und Ermittlung von Geometrie- und Materialparametern mikromechanischer Systeme mittels dynamischer Messverfahren zu frühen Produktionsschritten
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Gerbach, Ronny; Naumann, Falk; Ebert, Matthias; Bagdahn, Jörg (Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik, Walter-Hülse-Straße 1, 06120 Halle, Deutschland)
Inhalt:
Die Durchführung von Qualitätsbewertungsverfahren an mikromechanischen Systemen ist ein wichtiges Element für die Kostenreduzierung während der Herstellung von Mikrosystemen. In diesem Beitrag werden Verfahren für eine zerstörungsfreie Ermittlung von Geometrie- und Materialparametern sowie fehlerhafter mikromechanischer Bauteile vorgestellt, die auf dynamischen Messungen mittels Laser-Doppler-Vibrometrie und numerischen Simulationen basieren. Es werden experimentelle und numerische Untersuchungen an Siliziummembranstrukturen vorgestellt.