Peristaltische Ein-Membran-Mikropumpe mit zwei aktiven Ventilen

Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden

Tagungsband: MikroSystemTechnik

Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF

Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt

Autoren:
Geipel, A.; Katus, P.; Goldschmidtböing, F.; Woias, P. (Universität Freiburg - IMTEK, Lehrstuhl für Konstruktion von Mikrosystemen, Freiburg, Deutschland)

Inhalt:
Dieser Beitrag stellt ein neues Design einer peristaltischen Mikropumpe vor, das auf einer einzigen Membran beruht. Die rechteckige Membran überspannt dabei die gesamte Pumpkammer, d.h. sowohl den Bereich des Einlass- als auch des Auslassventils. Bei piezoelektrischer Aktuierung werden auf der Membran zwei piezokeramische Plättchen aufgeklebt, eines im Bereich des Einlassventils und eines über dem Auslass. Durch diese zwei aktuierten Bereiche können beide Ventile unabhängig voneinander geschaltet werden. Im Vergleich zur bereits vorgestellten 2-Membran-Mikropumpe ergibt sich durch die höhere Flexibilität der durchgängigen Membran ein größerer Volumenhub. Außerdem wurde das Design auf der fluidischen Zuflussseite wesentlich vereinfacht, wodurch deutlich weniger Prozessschritte in der Fertigung benötigt werden.