Mikropumpe mit integrierter Dosierkontrolle
Konferenz: MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
15.10.2007 - 17.10.2007 in Dresden
Tagungsband: MikroSystemTechnik
Seiten: 4Sprache: DeutschTyp: PDF
Persönliche VDE-Mitglieder erhalten auf diesen Artikel 10% Rabatt
Autoren:
Goldschmidtböing, Frank; Witte, Holger; Schwarz, Stefan Udo; Geipel, Andreas; Doll, Alexander; Rabold, Martin; Woias, Peter (Universität Freiburg - IMTEK, Lehrstuhl für Konstruktion von Mikrosystemen, Freiburg, Deutschland)
Inhalt:
Dieser Beitrag beschreibt ein integriertes Konzept zur Dosierkontrolle von Mikromembranpumpen. Ein der Mikropumpe nachgeschaltetes Reservoir mit flexibler Begrenzung ein zusätzliches Mikroventil ermöglichen eine Dosiermengenmessung und unterschiedliche Selbsttests des Dosiersystems. Das Konzept erlaubt die Integration dieser Dosierkontrolle in den Mikropumpenchip, da die zusätzlichen Komponenten Mikroventil und flexibles Reservoir in der gleichen Technologie gefertigt werden können. Der Aufbau und die unterschiedlichen Funktionsmodi des Dosiersystems werden vorgestellt.