Optimierung und Charakterisierung eines Membranspiegels zur dynamischen Fokussierung

Inhalt:
In U. Mescheder et al. "Active focusing device based on MOEMS technology" und U. Mescheder et al. „Distortion optimized Focusing Mirror Device with Large Aperture”, wurde ein Mikrospiegel in SOI-Technik vorgestellt, der durch elektrostatische Verformung zur dynamischen Fokussierung eingesetzt werden kann. Eine über einen großen Bereich der Membranfläche parabolische Biegelinie wird durch eine ringförmige Gegenelektrode erreicht. Zur Reduktion der erforderlichen Steuerspannung wird eine gezielte Schwächung der Membranaufhängung im Randbereich vorgenommen. In dieser Arbeit wird die Realisierung einer neuen Form der Randschwächung detailliert vorgestellt, bei der die Membran im Randbereich gedünnt wird. Gegenüber einer an dünnen Stegen aufgehängten Membran ergeben sich eine rotationssymmetrische Biegelinie, eine höhere Bruchfestigkeit und eine geringere Anfälligkeit gegen Partikel.