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61

Flexible Fertigungstechnologie für mikrofluidische Analysesysteme

Authors:
Jurischka, R.; Blattert, C.; Tahhan, I.; Schoth, A.; Reinecke, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

62

Flexible Herstellung und Charakterisierung von Inertialsensoren basierend auf der AIM–Technologie

Authors:
Lohmann, Christian; Bertz, Andreas; Reuter, Danny; Küchler, Matthias; Geßner, Thomas
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

63

Floating Gate Field Effect Devices (FGFET) for Gas Sensing

Authors:
Eisele, I.; Sulima, T.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

64

Forisomen - Natiirliche Fluidikaktuatoren aus Pflanzenproteinen

Authors:
Jäger, Magnus; Uhlig, Katja; Clausen-Schaumann, Hauke; Geggier, Peter; Duschl, Claus
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

65

Form- und dimensionstreu sinternde Keramiken: Materialentwicklung und Mikrostrukturierungsverfahren

Authors:
Binder, J. R.; Geßwein, H.; Pfrengle, A.; Ritzhaupt-Kleissl, H.-J.; Haußelt, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

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From SmartLabels to Sensor Networks

Authors:
Karl, Holger
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

67

Fügeverfahren für Mikrobauteile auf der Basis von „Black Silicon“

Authors:
Stubenrauch, Mike; Albrecht, Arne; Fischer, Michael; Kremin, Christoph
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

68

Game-based Learning in der Mikrosystemtechnik - Kompetenzentwicklung für die Mikrosystemtechnik

Authors:
Dehne, Carolin; Schwesinger, Norbert
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

69

Gas Sensors – From conductance modulation via electrochemistry to potential readout, ceramics vs. Silicon

Authors:
Fleischer, Maximilian
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

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Geometry Dependent Sensitivity of Pseudo-Hall Effect Based Integrated Stress Sensors

Authors:
Doelle, M.; Mager, D.; Ruther, P.; Paul, O.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

71

Grafische Offline-Programmierung von Mikromontageprozessen

Authors:
Seckner, M.; Ehrmann, M.; Zühlke, D.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

72

Grid-Based Discrete Spinning Current Method for the Extraction of Two Stresses and the Hall Voltage from Planar Four-Contact Sensors

Authors:
Bartholomeyczik, J.; Doelle, M.; Ruther, P.; Paul, O.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

73

Große, dreidimensionale Mikrostrukturen mittels Interferenzlithographie

Authors:
Mick, Jörg; Forberich, Karen; Bläsi, Benedikt; Gombert, Andreas; Reinecke, Holger; Müller, Claas
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

74

Herstellung polymergebundener Hartmagnete durch in SU-8 eingebrachtes Magnetpulver

Authors:
Bedenbecker, M.; Gatzen, H. H.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

75

Hochtemperatur-Tropfenerzeugung mittels eines elektromagnetischen Drop-on-Demand-Systems

Authors:
Irlinger, F.; Harnisch, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

76

Innenbehandlung und -beschichtung von gedeckelten mikrofluidischen Systemen

Authors:
Eichler, M.; Hacker, J.; Thomas, M.; Klages, C.-P.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

77

Integrated Stress Sensors – Components, Systems and Applications

Authors:
Ruther, P.; Bartholomeyczik, J.; Doelle, M.; Paul, O.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

78

Integration von HDI-Systemträgern zur Verifikation von Logikentwürfen

Authors:
Gesch, H.; Böttcher, J.; Waidelich, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

79

Integrierte CMOS Sensorsysteme für biochemische Analysen

Authors:
Paulus, Christian; Frey, Alexander; Schienle, Meinrad; Augustyniak, Marcin; Eckstein, Gerald
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005

80

Integrierte Mikrosysteme für die Analytik und minimal invasive Medizin

Authors:
Müller, Jörg
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005