Authors:
Geiger, Wolfram; Breng, Uwe; Deppe-Reibold, Olaf; Fuchs, Werner; Gutmann, Walter; Hafen, Martin; Handrich, Eberhard; Huber, Marcel; Kaufmann, Matthias; Kunz, Jürgen; Leinfelder, Peter; Newzella, Alfons; Ohmberger, Ralf; Ruf, Markus; Schröder, Werner; Spahlinger, Günter; Steffe, Volker; Weber, Carsten; Zimmermann, Steffen; Rasch, Andreas
Conference:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005