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161

Mikrosensorsystem auf Basis paralleler integriert-optischer Mach-Zehnder-Interferometer in neuartigem Polymer

Autoren:
Sieber, Heinrich; Boehm, Hans-Jürgen; Schüle, Sven; Hollenbach, Uwe; Mohr, Jürgen; Ostrzinski, Ute; Pfeiffer, Karl
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

162

Mikrostanzen - Einsatz von einkristallinem Silizium als Werkzeugwerkstoff für Schneidprozesse von dünnen Folien

Autoren:
Becsi, L.; Hildering, S.; Mescheder, U.; Engel, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

163

Mikrostrukturierter Plasmareaktor für Atmosphärendruck-Brennstoffreformierung

Autoren:
Marchesseault, Andrew; Büttgemach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

164

Mikrosysteme auf Basis der Mehrkomponentenmikrospritzgießtechnologie

Autoren:
Schulze, Robert; Heinrich, Michael; Wegener, Michael; Schüller, Martin; Kroll, Lothar; Gessner, Thomas; Gessner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

165

Mikrotechnisches Sensorsystem zur Bestimmung des absoluten Feuchtegehalts von Gasen

Autoren:
Kunze, M.; Merz, J.; Kattinger, G.; Ashauer, M.; Zengerle, R.; March, B.; Steinke, A.; Hummel, W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

166

Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration

Autoren:
Heilig, Markus; Schneider, Marc; Hamm, Veronika; Dinglreiter, Heinz; Worgull, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

167

Miniaturisierte Signal-Schaltmatrix auf Basis von bistabilen Mikrorelais

Autoren:
Staab, Matthias; Büttgen, Christoph; Riemer, Darina; Schlaak, Helmut F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

168

Miniaturisierte Wolter-Optiken für harte Röntgenstrahlen

Autoren:
Last, A.; Marschall, F.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Simon, M.; Vogt, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

169

Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung

Autoren:
Müller, Lutz; Kremin, Christoph; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

170

Mittelstand in der Mikrosystemtechnik - veränderte Rahmenbedingungen erfordern neue Kooperationskonzepte

Autoren:
Kleinkes, Uwe
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

171

Mobile Diagnostiksysteme: Aktuelle Herausforderungen

Autoren:
Hartwig, Kristina; Seydack, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

172

Modular Adaptierbare Mikrooptische Systeme für die Mess- und Nachrichtentechnik

Autoren:
Schüle, S.; Hengsbach, S.; Sieber, H.; Müller, F.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Leuthold, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

173

Monolothisch integrierte GMR/TMR Sensoren für Automobilanwendungen

Autoren:
Zimmer, J.; Bever, T.; Raberg, W.; Schmitt, S.; Prügl, K.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

174

mst-Netzwerk Rhein-Main e.V. - Steigerung der regionalen Wertschöpfung durch Forschungskooperationen und nachhaltige Vernetzung

Autoren:
Slatter, R.; Ralle, T.; Schlaak, H. F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

175

Multielektroden Array mit Elektroden aus Kohlenstoff Nanoröhren für die extrazelluläre Ableitung von Aktionspotentialen

Autoren:
Nick, C.; Nick, C.; Joshi, R.; Schlaak, H. F.; Schneider, J. J.; Thielemann, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

176

Multisensormodul für die Mikroverfahrenstechnik

Autoren:
Frank, Thomas; Brokmann, Geert; Herbst, Steffen; Steinke, Arnd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

177

Neuartige hochohmige Dünnschicht-Folien-DMS für Wireless Condition Monitoring

Autoren:
Fellner, T.; Wilde, J.; Zeiser, R.; Jörger, T.; Törk, M.; Reindl, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

178

Neuartiges Frequenz- und Amplitudenabstimmbares Infrarotfilter

Autoren:
Specht, H.; Meinig, M.; Kurth, S.; Hiller, K.; Ebermann, M.; Neumann, N.; Gittler, E.; Geßner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

179

Neuartiges Mikroventil mit dielektrischen Elastomeraktoren für den Einsatz in einem Mikrobrennerarray

Autoren:
Schlosser, M.; Flittner, K.; Ionescu, E.; Toma, L.; Riedel, R.; Schlaak, H. F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

180

Neue Bearbeitungsstrategie und Fügetechnik für mikrooptische Bauteile und Systeme

Autoren:
Wagner, Mario; Dilger, Klaus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011