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1

Rapid-Prototyping-Plattform für μ-Total-Analysesysteme

Autoren:
Serout, Anne; Podbiel, Daniel; Bott, Hannah; Kadic, Samir; Hoffmann, Jochen; Laermer, Franz
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

2

Reliability Aspects of in-plane NED Bending Actuators in Silicon-based MEMS

Autoren:
Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

3

RISC-V based SoC with integrated switched-capacitor PUF in 180 nm

Autoren:
Mueller, Kai-Uwe; Stanitzki, Alexander; Fedtschenko, Tatjana; Kokozinski, Rainer
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

4

Robuster, thermischer Strömungs- und Konzentrationssensor basierend auf Anemometrie und der 3Omega-Methode

Autoren:
Bernhardsgrütter, Ralf; Hepp, Christoph; Schmitt, Katrin; Wöllenstein, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

5

ScaleIT Skalierbarer Zugang zu industriellen Apps für den produzierenden Mittelstand

Autoren:
Doerr, Roland; Neuy, Christine
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

6

Sensor-equipped microreactors: electrochemical multianalyte detection in hydrogen peroxide direct synthesis

Autoren:
Urban, Sebastian; Deschner, Benedikt; Trinkies, Laura L.; Kieninger, Jochen; Kraut, Manfred; Dittmeyer, Roland; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

7

Sensornahe KI - Systembaukasten erlaubt ressourceneffiziente Anpassung der KI-Hardware

Autoren:
Burwick, Christian; Deuble, Thomas; Epple, Steffen
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

8

Sensorsystem zur Erkennung schwerer Verläufe von Infektionskrankheiten am Beispiel COVID-19

Autoren:
Scholles, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

9

Siliziumdehnungssensoren zur Spannungsanalyse

Autoren:
Frank, Thomas; Grün, A.; Maier, C.; Asghar, M. T.; Krieger, U.; Cyriax, A.; Hintz, Michael; Ortlepp, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

10

Silver sintering: New Materials for die and substrate attach in high power applications

Autoren:
Rabay, Battist; Papathanasiou, Niklas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

11

Simulation model and dimensioning of a photoacoustic sensor for the detection of radiation-induced pressure surges

Autoren:
Handte, Thomas; Bohm, Sebastian; Goj, Boris; Dittrich, Lars; Mollenhauer, Olaf; Sinzinger, Stefan; Runge, Erich
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

12

Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses

Autoren:
Arndt, Matthias; Wurz, Marc Christopher; Dencker, Folke; Long, Yangyang; Twiefel, Jens
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

13

SmartNIR - Development of a highly miniaturised NIR-spectrometer for integration into mobile devices

Autoren:
Reinig, Peter; Dallmann, Hans-Georg; Kruse, Jens; Knobbe, Jens
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

14

Solid-State LiDAR: MEMS Spiegel für die Umgebungssensorik zum sicheren autonomen Fahren

Autoren:
Grahmann, Jan; Schroedter, Richard; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich; Blasl, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

15

Speichernde Sensorkonzepte mit in-memory-Computing, ganz ohne elektrische Hilfsenergie

Autoren:
Hoffmann, Martin; Schmitt, Philip; Zimmermann, Sven; Stöckel, Chris; Forke, Roman; Geneiß, Volker; Wittemeier, S.; Hedayat, Christian; Hilleringmann, Ulrich; Kuhn, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

16

Spritzguss von transparentem mikrostrukturiertem Quarzglas

Autoren:
Mader, Markus; Kotz-Helmer, Frederik; Rapp, Bastian E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

17

Standardization of test particles by trial-based approximation of the damaging potential of manufacturing swarfs

Autoren:
Piotter, Volker; Plewa, Klaus; Klein, Alexander; Brag, Patrick; Hertzfeldt, Mirko; Umbach, Sascha
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

18

Strahlcharakteristik eines elektrostatischen, membranlosen MEMS-Ultraschallwandlers für Umgebungserfassung

Autoren:
Melnikov, Anton; Marica-Bercu, Ioana; Monsalve, Jorge M.; Jongmanns, Marcel; Kaiser, Bert
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

19

Supervising varroa treatment of honey bees with smart sensor systems

Autoren:
Schweizer, Thomas; Senger, Diren; Johannsen, Carolin; Kluss, Thorsten; Vellekoop, Michael J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress

20

System-Level Modeling of a Cooperative Microactuator with Free Particle Movement

Autoren:
Olbrich, Michael; Schuetz, Arwed; Bechtold, Tamara; Ament, Christoph
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress