Strategies for Wavelength-Selective Ge Photodetectors in 200 mm Wafer Silicon Technology
Konferenz: MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität
27.10.2025-29.10.2025 in Duisburg, Germany
doi:10.30420/456614102
Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2025
Seiten: 2Sprache: EnglischTyp: PDF
Autoren:
Augel, Lion; Reiter, Sebastian; Senguel, Akant; Mai, Christian; Chavarin, Carlos Alvarado; Oleynik, Paul; Berkmann, Fritz; Wenger, Christian; Fischer, Inga Anita
Inhalt:
The combination of Ge photodetectors with nanostructuring has great potential for applications in multispectral imaging in the range of “short-wave infrared” wavelengths (SWIR, 1100-1700 nm). We present strategies for realizing such components in cost-effective, CMOS-compatible 200 mm Si wafer technology.