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1

Neues Biosensorkonzept auf der Basis der Kelvin-Methode

Authors:
Ünlübayir, S.; Kumar, P.; Trieu, H-K.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

2

Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Authors:
Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Mohr, J.; Saile, V.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

3

Nichtlineares Steifigkeits- und Dämpfungsmodell für weiche und harte PZT Keramiken

Authors:
Goldschmidtböing, F.; Neiss, S.; Kröner, M.; Woias, P.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

4

Offene Test- und Entwicklunsplattform für Mikrosysteme

Authors:
Toszkowski, G.; Dahmen, N.; Dahmen, U.; Degen, C.; Göttert, J.; Hermanns, F.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

5

Optimierung von Chip-Architekturen effizienter Zellsorter basierend auf dem Elektrowetting-Verfahren

Authors:
Schreiber, Fedor; Rennings, Andreas; Erni, Daniel
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

6

Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung

Authors:
Grewe, A.; Endrödy, C.; Fütterer, R.; Cu-Nguyen, P.-H.; Steiner, S.; Hillenbrand, M.; Correns, M.; Hoffmann, M.; Linß, G.; Zappe, H.; Seifert, A.; Kley, E. B.; Sinzinger, S.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

7

Parallelisierte Fertigung mikro-optischer Kameraobjektive

Authors:
Wippermann, F. C.; Reimann, A.; Dunkel, J.; Bräuer, A.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

8

Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg

Authors:
Hampl, S.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

9

Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für Hochtemperaturanwendungen

Authors:
Uhlig, S.; Schmid-Engel, H.; Werner, U.; Schultes, G.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

10

Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die Partikelanalyse

Authors:
Hofmann, Meike; Müller, Ralf; Grewe, Adrian; Brodersen, Olaf; Sinzinger, Stefan
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

11

Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher

Authors:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Gong, Lin; Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

12

Poröses Silizium auf SOI Substraten

Authors:
Backes, A.; Patocka, F.; Walkoun, P.; Schmid, U.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

13

Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie

Authors:
Mescheder, Ulrich; Gu, Qingyun; Müller, Bernhard
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

14

Prototyp eines Reachthrough-Siliziumphotomultipliers

Authors:
Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Röder, R.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

15

Prozesskette zur Herstellung von polymeren Mikrohohlnadeln mittels UV Imprint-Lithographie

Authors:
Welte, G.; Rieper, T.; Schumacher, A.; Schmelz, M.; Müller, C.; Reinecke, H.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

16

Rapid Immunodiagnostic Kits based on proprietary 1-step chemistry for covalent and leach-proof antibody immobilisation

Authors:
Vashist, S. K.; Czilwik, G.; Stetten, F. von; Zengerle, R.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

17

Rapid-Prototyping von Dünnschichtsensoren für Zellkulturchips durch direkte Strukturierung mit einem Ultra-Kurzpulslaser

Authors:
Bonk, S. M.; Oldorf, P.; Weihe, T.; Stubbe, M.; Peters, R.; Baumann, W. H.; Gimsa, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

18

Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte Durchflusszytometrie

Authors:
Baßler, Michael; Myagmar, Khaliun; Sommer, Christian; Quint, Stephan
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

19

Realisierung von Low-Cost-Packaging-Lösungen in der Sensorik durch Einsatz von dünnen, hermetisch dichten Borosilikatglasfilmen

Authors:
Hansen, Ulli; Maus, Simon; Töpper, Michael
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

20

Refraktive Röntgenlinsen zur Intensitätserhöhung im Spot einer Röntgenröhre

Authors:
Vogt, H.; Last, A.; Mohr, J.; Marschall, F.; Kluge, M.; Nazmov, V.; Mettendorf, K.-U.; Eisenhower, R.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen