1
Abscheidung von Ag Nanopartikel Zwischenschichten für das Wafer- und Chip-level Packaging
Authors:
Roscher, Frank; Seifert, Tobias; Vogel, Klaus; Wiemer, Maik; Gessner, Thomas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
2
Automated reel-to-reel fluidic self-assembly enabling the production of solid state lighting panels
Authors:
Park, Se-Chul; Fang, Jun; Biswas, Shantonu; Mozafari, Mahsa; Stauden, Thomas; Jacobs, Heiko O.; Jacobs, Heiko O.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
3
Electrically excited plasmon resonances in hybrid metallic nano-structures as innovative sensor concept in bioanalytics
Authors:
Dathe, André; Ziegler, Mario; Hübner, Uwe; Stranik, Ondrej; Fritzsche, Wolfgang
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
4
Fatigue analysis of anisotropic copper-vias in a circuit board
Authors:
Abali, B. E.; Reich, F. A.; Müller, W. H.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
5
Funktionale Integration bei Magnetoresistiven Sensoren
Authors:
Slatter, Rolf; Grimm, Hubert; Glenske, Claudia
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
6
Genzflächendiffusions- und Adhäsionsverhalten von Epoxidharzen für mikroelektronische Sensorapplikationen
Authors:
Walter, H.; Bauer, J.; Braun, T.; Hölck, O.; Hölck, O.; Wunderle, B.; Schulz, M.; Keller, J.; Wittler, O.; Lang, K.-D.; Lang, K.-D.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
7
Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen
Authors:
Leopold, S.; Pätz, D.; Sinzinger, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
8
Inkjet-Technologie zum Bedrucken dreidimensionaler kunststoffbasierter Substrate
Authors:
Polzinger, Bernhard; Matic, Vladimir; Keck, Jürgen; Eberhardt, Wolfgang; Kück, Heinz; Bürklin, Uwe; Keller, Kai J.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
9
Integrated Opto-Chemical Sensor System based on Group III-nitride Nanowires
Authors:
Kleindienst, R.; Krüger, M.; Grewe, A.; Sinzinger, S.; Holc, K.; Schätzle, J.; Steffen, A.; Cimalla, V.; Schwarz, U. T.; Schwarz, U. T.; Becker, P.; Hille, P.; Schörmann, J.; Teubert, J.; Eickhoff, M.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
10
Integration von ZnO Nanopartikel Dünnschicht-Transistoren durch Sprühbeschichtung
Authors:
Vidor, Fabio F.; Hilleringmann, Ulrich
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
11
Kalibrierbarer Mikrokraftsensor zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten
Authors:
Frank, Thomas; Völlmeke, Stefan; Steinke, Arndt; Doering, Lutz
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
12
Localized Collection of Airborne Analytes: A Transport Driven Approach to Improve the Response Time of Existing Gas Sensor Designs including SERS based Detection of Small Molecules
Authors:
Fang, Jun; Park, Se-Chul; Schlag, Leslie; Stauden, Thomas; Pezoldt, Jörg; Jacobs, Heiko O.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
13
Micro enables Nano – Active Cantilever for Single Digit Nanofabrication
Authors:
Kaestner, Marcus; Ivanov, Tzvetan; Krivoshapkina, Yana; Ahmad, Ahmad; Angelov, Tihomir; Reum, Alexander; Lipowicz, Hubert; Budden, Matthias; Lenk, Steve; Hofer, Manuel; Aydogan, Cemal; Holz, Mathias; Atanasov, Ivaylo; Guliyev, Elshad; Szostak, Katarzyna; Ishchuk, Valentyn; Schuh, Andreas; Schuh, Andreas; Zoellner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
14
Mikro- und nanoskalige, mechanische Charakterisierung von MEMS für Zuverlässigkeitsbewertungen
Authors:
Vogel, Dietmar; Auerswald, Ellen; Brückner, John; Michel, Bernd; Rzepka, Sven
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
15
Mikrotechnische Umsetzung eines integriert optischen Michelson-Interferometers für Auflösungen im Sub-Nanometerbereich
Authors:
Markweg, Eric; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ortlepp, Hans Georg; Hoffmann, Martin; Mollenhauer, Olaf
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
16
Nadelstrukturen durch elektrochemisches HF-Ätzen von n-Silizium
Authors:
Pignanelli, Eliseo; Emmerich, Franziska; Schütze, Andreas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
17
Nanostrukturen als Problemlöser – Emissionserhöhung und Interferenzvermeidung am Bsp. eines IR-basierten Fluidsensors
Authors:
Müller, Lutz; Günschmann, Sabine; Fischer, Michael; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
18
Röntgeninspektion für die Mikro- und Nano-Elektronik und die Mikrosystemtechnik
Authors:
Oppermann, Martin; Zerna, Thomas
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
19
Selektive Erzeugung von Nanostrukturen auf einer Waferoberfläche zur Realisierung von optischen und mechanischen Funktionen beim Aufbau eines Echtzeitölsensors
Authors:
Günschmann, S.; Müller, L.; Fischer, M.; Hoffmann, M.; Müller, J.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops
20
Strukturierung von Elektronen-Feldemitter auf Basis metallischer Nanodrähte
Authors:
Roustaie, Farough; Wilfert, Stefan; Quednau, Sebastian; Dassinger, Florian; Lotz, Marcel; Lotz, Marcel; Schlaak, Helmut F.
Conference:
Mikro-Nano-Integration - Beiträge des 5. GMM-Workshops