1
Ablenkeinheit mit vergrabenen Wolframelektroden für die Multi-Elektronenstrahllithografie
Authors:
Jurisch, M.; Irmscher, M.; Letzkus, F.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
2
Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on Silicon
Authors:
Lima, F.; Lima, F.; Reinecke, H.; Mescheder, U.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
3
ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-Nanostrukturen
Authors:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Feizi, K.; Vogt, H.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
4
Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT für neuartige Membranbiegeschwinger
Authors:
Reusch, Markus; Katus, Philip; Schilling, Claudia; Holc, Katarzyna; Pletschen, Wilfried; Kirste, Lutz; Ambacher, Oliver; Ambacher, Oliver; Reindl, Leonhard; Lebedev, Vadim
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
5
Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-Verbundsubstrat
Authors:
Gropp, Sebastian; Fischer, Michael; Hoffmann, Martin
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
6
Aufbau hochintegrierter Sensorsysteme mittels Inkjet-Druck und Film Assisted Molding
Authors:
Keck, J.; Hera, D.; Juric, D.; Polzinger, B.; Liedtke, L.; Eberhardt, W.; Kück, H.; Zimmermann, A.; Ehrenpfordt, R.; Schulze-Spüntrup, J. D.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
7
Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie
Authors:
Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Márkus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
8
Automatisierte Nukleinsäurediagnostik in der LabDisk mittels frequenzgesteuerter Freisetzung vorgelagerter Reagenzien
Authors:
Stumpf, F.; Schwemmer, F.; Hutzenlaub, T.; Strohmeier, O.; Stetten, F. von; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Mark, D.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
9
Automatisiertes Mikrofluidik-System mit optischem Aufbau zur Untersuchung von Peptid-Antikörper-Wechselwirkungen im Arrayformat
Authors:
Weber, L. K.; Fischer, A.; Soehindrijo, M.; Förtsch, T. C.; Bojnicic-Kninski, C.; Althuon, D.; Schillo, S. M.; Striffler, J.; Löffler, F. F.; Breitling, F.; Hubbuch, J.; Nesterov-Müller, A.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10
Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von Grenzwertereignissen
Authors:
Mehner, H.; Schwebke, S.; Leopold, S.; Hoffmann, M.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
11
Autonomer Mikrosensor zur Integration von Stoßereignissen
Authors:
Mehner, H.; Weise, C.; Schwebke, S.; Hampl, S.; Hoffmann, M.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
12
Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher Fettsäuren
Authors:
Weigel, Christoph; Schneider, Mike; Hoffmann, Martin; Kahl, Sebastian; Jurisch, Reinhard
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
13
Beschleunigte Zuverlässigkeitsuntersuchung von Siliziumnitrid bei schmalbandiger UV-Bestrahlung
Authors:
Schmidt, A.; Dreiner, S.; Vogt, H.; Paschen, U.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
14
Biohybrides Mikrofluidiksystem als Modell einer Blutkapillare zur Analyse der Extravasation von Tumorzellen
Authors:
Kayo, S.; Kühlbach, C.; Sechi, J.; Herrlich, S.; Zengerle, R.; Müller, M. M.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
15
Brennstoffzellen aus LiGa-Technik für portable Anwendungen
Authors:
Hahn, L.; Helm, P.; Baumgärtner, M.; Lanzinger, G.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
16
Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloys
Authors:
Khazi, Isman; Mescheder, Ulrich; Siddiqui, Zohaib
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
17
Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen
Authors:
Goehlich, A.; Jupe, A.; Stühlmeyer, M.; Celik, Y.; Schmidt, A.; Vogt, H.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
18
Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-Resonanzmodus
Authors:
Suryo Wasisto, Hutomo; Suryo Wasisto, Hutomo; Dang, Ruochen; Doering, Lutz; Brand, Uwe; Peiner, Erwin; Peiner, Erwin
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
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CMOS frequency division multiplexer enables multi-channel magnetic resonance imaging with a single channel spectrometer
Authors:
Jouda, M.; Gruschke, O. G.; Fischer, E.; Leupold, J.; Elverfeldt, D.; Hennig, J.; Korvink, J. G.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
20
Cross-Cluster Industrie 4.0 Südwest
Authors:
Funk, K.; Neuy, C.
Conference:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015