81
Gasblasengetriebene Pumpe für Mikroreaktoren
Authors:
Paust, N.; Litterst, C.; Metz, T.; Zengerle, R.; Koltay, P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
82
Generation of Multi-Energy Domain Macromodels of Highly Perforated and Deformable Microstructures Exposed to Squeeze Film Damping
Authors:
Niessner, Martin; Schrag, Gabriele; Wachutka, Gerhard
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
83
Generation of µ - hydrogel spots for cell biology: a new tool for tissue engineering and stem cell culture
Authors:
Ehrhart, F.; Gepp, M. M.; Baunach, J. J. S.; Wählisch, F.; Dörr, D.; Howitz, S.; Stark, R. W.; Zimmermann, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
84
Geregeltes Flüssigkeiten-Dosiersystem für portable Anwendungen
Authors:
Götz, Martin; Storz, Matthias; Ashauer, Matthias; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
85
Gesteuerte Verdampfung als fluidischer Transportmechanismus in geregelten Medikamentendosiersystemen
Authors:
Vosseler, Michael; Dobmeier, Michael; Blaesing, Marius; Stehr, Manfred; Aslanidis, Georgios; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
86
Glukose-Brennstoffzellen als autarke Energieversorgung für medizinische Mikro-Implantate: Stand der Technik und aktuelle Entwicklungen
Authors:
Kerzenmacher, Sven; Stetten, Felix von; Ducrée, Jens; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
87
Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoffvorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS
Authors:
Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Dietrich, Franz; Hemken, Gregor; Böhm, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
88
Heißprägen mit einem Silikonkautschukstempel
Authors:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
89
Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens
Authors:
Kouba, J.; Voigt, A.; Götz, F.; Rudolph, I.; Heinrich, M.; Lilienhof, H.-J.; Waberski, Ch.; Stockhofe, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Hollmann, H.; Gruetzner, G.; Löchel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
90
Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-Ebene
Authors:
Zoschke, Kai; Reichl, Herbert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
91
Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS Anwendungen
Authors:
Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
92
Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich
Authors:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
93
Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen
Authors:
Nocke, Andreas; Wolf, Marcus; Budzier, Helmut; Moench, Ingolf; Arndt, Karl-Friedrich; Gerlach, Gerald
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
94
Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44
Authors:
Schirmer, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
95
Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf Waferebene
Authors:
Oldsen, Marten; Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Wagner, Bernd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
96
Heterointegration Technologies for Polytronic Systems
Authors:
Bock, Karlheinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
97
High speed video analysis of μ-capsule formation for life science applications
Authors:
Ehrhart, F.; Meiser, I.; Graf, C.; Müller, K.; Shirley, S. G.; Sukhourukov, V. L.; Zimmermann, U.; Zimmermann, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
98
Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen
Authors:
Wagner, Michael; Dürr, Peter; Dauderstädt, Ulrike; Gehner, Andreas; Friedrichs, Martin; Schmidt, Jan-Uwe; Lakner, Hubert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
99
Hochentwickelte Integrations- und Packagingtechnologien für miniaturisierte Systeme
Authors:
Lang, Klaus-Dieter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
100
Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen
Authors:
Bonitz, J.; Bundesmann, C.; Eichentopf, I.-M.; Mändl, S.; Neumann, H.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007