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81

Gasblasengetriebene Pumpe für Mikroreaktoren

Authors:
Paust, N.; Litterst, C.; Metz, T.; Zengerle, R.; Koltay, P.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

82

Generation of Multi-Energy Domain Macromodels of Highly Perforated and Deformable Microstructures Exposed to Squeeze Film Damping

Authors:
Niessner, Martin; Schrag, Gabriele; Wachutka, Gerhard
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

83

Generation of µ - hydrogel spots for cell biology: a new tool for tissue engineering and stem cell culture

Authors:
Ehrhart, F.; Gepp,  M. M.; Baunach, J. J. S.; Wählisch, F.; Dörr, D.; Howitz, S.; Stark, R. W.; Zimmermann, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

84

Geregeltes Flüssigkeiten-Dosiersystem für portable Anwendungen

Authors:
Götz, Martin; Storz, Matthias; Ashauer, Matthias; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

85

Gesteuerte Verdampfung als fluidischer Transportmechanismus in geregelten Medikamentendosiersystemen

Authors:
Vosseler, Michael; Dobmeier, Michael; Blaesing, Marius; Stehr, Manfred; Aslanidis, Georgios; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

86

Glukose-Brennstoffzellen als autarke Energieversorgung für medizinische Mikro-Implantate: Stand der Technik und aktuelle Entwicklungen

Authors:
Kerzenmacher, Sven; Stetten, Felix von; Ducrée, Jens; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

87

Greifsysteme für das Fügen mit schmelzklebstoffvorbeschichteten Bauteilen zur Fertigung von MEMS und MOEMS

Authors:
Rathmann, Sven; Raatz, Annika; Dietrich, Franz; Hemken, Gregor; Böhm, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

88

Heißprägen mit einem Silikonkautschukstempel

Authors:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

89

Herstellung hochpräziser planarer Mikropumpen mit Hilfe des Direkt-LIGA-Verfahrens

Authors:
Kouba, J.; Voigt, A.; Götz, F.; Rudolph, I.; Heinrich, M.; Lilienhof, H.-J.; Waberski, Ch.; Stockhofe, Ch.; Scheunemann, H.-U.; Hollmann, H.; Gruetzner, G.; Löchel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

90

Herstellung integrierter passiver Komponenten auf Wafer-Ebene

Authors:
Zoschke, Kai; Reichl, Herbert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

91

Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Aluminiumnitrid- Dünnschichten für MEMS Anwendungen

Authors:
Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

92

Herstellung und optische Charakterisierung siliziumnitrid-basierender photonischer Kristalle für Anwendungen im sichtbaren Bereich

Authors:
Kouba, J.; Eberhardt, W.; Loechel, B.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

93

Herstellung von Komponenten für Mikrobolometer auf der Basis von Polymerkompositen

Authors:
Nocke, Andreas; Wolf, Marcus; Budzier, Helmut; Moench, Ingolf; Arndt, Karl-Friedrich; Gerlach, Gerald
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

94

Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44

Authors:
Schirmer, Matthias
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

95

Herstellungsverfahren für Vakuum gekapselte resonante Mikrospiegel auf Waferebene

Authors:
Oldsen, Marten; Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Wagner, Bernd
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Heterointegration Technologies for Polytronic Systems

Authors:
Bock, Karlheinz
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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High speed video analysis of μ-capsule formation for life science applications

Authors:
Ehrhart, F.; Meiser, I.; Graf, C.; Müller, K.; Shirley, S. G.; Sukhourukov, V. L.; Zimmermann, U.; Zimmermann, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen

Authors:
Wagner, Michael; Dürr, Peter; Dauderstädt, Ulrike; Gehner, Andreas; Friedrichs, Martin; Schmidt, Jan-Uwe; Lakner, Hubert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Hochentwickelte Integrations- und Packagingtechnologien für miniaturisierte Systeme

Authors:
Lang, Klaus-Dieter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

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Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen

Authors:
Bonitz, J.; Bundesmann, C.; Eichentopf, I.-M.; Mändl, S.; Neumann, H.; Kaufmann, C.; Gessner, T.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007