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1

3D printed HASEL platform using the effect of phase transition

Autoren:
Hubracht, Andreas; Thelemann, Albert; Jiao, Chen; Tripathi, Ashwani Sharan; Marschner, Uwe; Richter, Andreas; Vorrath, E.-F. Markus; Maas, Juergen
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

2

3D-integrated post-CMOS pressure sensor for medical applications

Autoren:
Maas, Rahel-Manuela; Haenel, Kathrin; Haase, Nina; Albert, Andreas; Figge, Martin; Seidl, Karsten
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

3

3D-Integration process for back side illuminated image sensors

Autoren:
Zeidler, Christopher; Jung, Melanie; Jimenez, Lucia Del Rosario Alcala; Figge, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

4

3D-Printing of Sustainable Polymer-Matrix-Composites

Autoren:
Hanemann, T.; Huebschen, M.; Liebig, W.; Noetze, D.; Qazzazie-Hauser, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

5

5G Campus Networks at Brandenburg University of Technology Cott-bus-Senftenberg

Autoren:
Ruffert, Christine; Habel, Kai; Herglotz, Christian
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

6

A compact catadioptric multi-channel LWIR camera with a large field of view

Autoren:
Leitel, Robert; Karl, Johanna Klara; Oberdoerster, Alexander; Kleinle, Sylke
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

7

A Finite Element Study of Electrode Configurations and Geometries for Electrostatic Stray Field Actuators

Autoren:
Schuetz, Arwed; Hoffmann, Martin; Bechtold, Tamara
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

8

A glass-based MEMS switch approach for harsh environments and high-performance RF applications

Autoren:
Schudak, Svenja; Bertke, Maik; Heinz, Jannis B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

9

A Modular Pointing and Tracking System for Terrestrial Quantum Key Distribution

Autoren:
Stephan, Mira; Schneider, Tobias; Klingmann, Fabian; Kirrbach, Rene
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

10

A novel Optocoupler Technology for Gbit/s Data Rates and high Isolation Voltages in the kV-Range

Autoren:
Schmieder, Kai; Schneider, Tobias; Kirrbach, Rene
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

11

Active capsule for sampling intestinal liquid biopsy for microbiome analysis

Autoren:
Shahadha, Mohammed Hadi; Gruner, Denise; Voigt, Andreas; Marschner, Uwe; Richter, Andreas; Le Floch, Maxime; Hampe, Jochen; Brauer, Frank; Schostek, Sebastian
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

12

Advanced Heterogeneous System Integration of Chiplets and Quasi-Monolithic Integration

Autoren:
Jung, Erik; Toepper, Michael; Mensing, Michael; Roscher, Frank; Hefer, Jan; Mai, Andreas; Becker, Karl Friedrich; Schneider-Ramelow, Martin; Ganesh, Ulrike
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

13

Advanced Packaging solutions for HPC, Communication and sensor modules enabled by APECS pilot line

Autoren:
Jordan, Rafael; Herzer, Elmar; Mensing, Michael; Moehrle, Martin; Schroeder, Henning; Dietz, Marco; Toepper, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

14

AlScN process platform for MEMS actuators with PZT like performance

Autoren:
Kreutzer, Tom-Niklas; Stoppel, Fabian; Ghori, Muhammad Zubair; Lofink, Fabian; Fichtner, Simon
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

15

AMR current sensor with monolithically integrated bias magnets

Autoren:
Gojdka, Bjoern; Clausen, Niels; Glenske, Claudia; Hille, Pascal; Becker, Laurin; Paul, Johannes; Bodduluri, Mani Teja; Lisec, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

16

Anchoring Hollow Nanoneedles in a Free-Standing Plate for Integration in a Microfluidic System

Autoren:
Brechmann, Noah; Seidl, Karsten
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

17

Application of shifted excitation Raman difference spectroscopy for material identification towards sustainable recycling processes

Autoren:
Sowoidnich, Kay; Mueller, Andre; Rudisch, Katharina; Pufahl, Karsten; Regir, Valentin; Sumpf, Bernd; Maiwald, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

18

Artificial Intelligence & Software Enablers for Modern Microsensor Systems

Autoren:
Hartmann, Bastian; Tritschler, Patrick; Wenzel, Matthias; Degenfeld-Schonburg, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

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Biomimetic Nanostructured 3D Microelectrode Systems for Spatially Resolved Electrophysiological Cell Recordings

Autoren:
Baumann, Benjamin; Nowduri, Bharat; Jakoby, Michaela; Schulte, Steven; Britz-Grell, Anette; Meyszner, Antoine; Weisgerber, Marie-Claire; Koch, Klaus Peter; Schaefer, Karl-Herbert; Rabe, Holger; Saumer, Monika
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität

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Blade Milling For Quantum Computing

Autoren:
Gang, Andreas; Junghaehnel, Manuela
Konferenz:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2025 - Mikroelektronik/Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen – Nachhaltigkeit und Technologiesouveränität