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1

Mit Röntgenlithographie gefertigte Gitterstrukturen ermöglichen neue Röntgenbildgebung in Medizin und Materialwissenschaft

Autoren:
Koch, Frieder; Schröter, Tobias; Meiser, Jan; Meyer, Pascal; Kunka, Danays; Faisal, Abrar; Yaroshenko, Andre; Birnbacher, Lorenz; Prade, Friedrich; Pfeiffer, Franz; Duttenhofer, Thomas; Schulz, Joachim; Mohr, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

2

Modellierung nass-chemischer Porösizierverfahren auf LTCC für elektromagnetische Hochfrequenz Feldsimulation

Autoren:
Talai, Armin; Steinhäußer, Frank; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich; Weigel, Robert; Kölpin, Alexander
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

3

Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikroelektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen

Autoren:
Weidlich, S.; Forke, R.; Billep, D.; Konietzka, S.; Köhler, D.; Hiller, K.; Geßner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

4

Modulare Mikrofluidik-Plattform im Laboratory Disc-Format für die biosensorische Bestimmung von Propionsäure-Konzentrationen

Autoren:
Schmidl, G.; Dutz, S.; Dutz, S.; Kielpinski, M.; Mayer, G.; Simonte, F.; Gescher, J.; Henkel, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

5

Modulare µ-MRT Spule der zweiten Generation

Autoren:
Spengler, N.; Höfflin, J.; Moazenzadeh, A.; Wallrabe, U.; Korvink, Jan G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

6

Montage von Mikrosystemen durch reaktives Fügen

Autoren:
Schumacher, Axel; Salmen, Ulrike; Knappmann, Stephan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

7

Multi-Parameter Low-Power Sensor Netzwerk für die Meeresforschung

Autoren:
Wahn, L.; Gentz, T.; Trieu, H. K.; Schlüter, M.; Müller, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

8

Multifunktionale Dünnschichtsensormodule zur Überwachung von Produktionsprozessen

Autoren:
Biehl, Saskia; Rumposch, Christian; Paetsch, Nancy; Meyer-Kornblum, Eike
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

9

Multisensor für mehrere Umweltgrößen auf Leiterplattenbasis

Autoren:
Schwenck,
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

10

Nachhaltige Mikrofluidik durch Heißprägen von Schellack

Autoren:
Lausecker, Roland; Badilita, Vlad; Wallrabe, Ulrike
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

11

Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien

Autoren:
Gulden, Peter; Fischer, Christian; Lipka, Melanie; Marschall, Albert; Fritzsch, Thomas; Franke, v; Vossiek, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

12

Nanofluidisches Interdigitalinterferometer für die Anreicherung und label-freie Detektion biologischer Moleküle

Autoren:
Jürgens, F.; Jürgens, F.; Dietzel, A.; Burg, T. P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

13

Neuartiger Smart Tooth mit zehnfach höherer Kraftauflösung

Autoren:
Becker, F.; Kuhl, M.; Manoli, Y.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

14

Neue Halbleitertechnologien für das “Internet der Dinge”

Autoren:
Teepe, Gerd
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

15

Neue Zytometrie-Strukturen für Streulicht- und Geschwindigkeitsmessungen

Autoren:
Freundlieb, Mareike; Michael Schlüter,; Schütte, Helmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

16

Neues Co-Casting-Verfahren zur Herstellung Piezoelektrischer Mehrlagen-Bauteile mit Silber-Innenelektroden

Autoren:
Medesi, Anna; Megnin, Christof; Hanemann, Thomas; Hanemann, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

17

Niedertemperatur-Bondverfahren für thermisch-elektrische Hochleistungssysteme

Autoren:
Möller, Eike; Bajwa, Adeel Ahmad; Wilde, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

18

Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMS

Autoren:
Freitag, M.; Sorger, A.; Voigt, S.; J. Mehner
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

19

Nutzung von neuartigen nanoporigen, piezoelektrischen Wandlermaterialien in Strömungs-Energy-Harvester

Autoren:
M. Spornraft,; Schwesinger, N.; Berger, Shlomo
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015

20

Oberflächenplanare Integration von Sensorchips

Autoren:
Vierhaus, J.; Schmaus, C.; Kießig, A.; Schubert, W.; Burte, E. P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015