1
Microfluidic organ-on-chip system for monitoring 3D breast cancer stem cell cultures
Autoren:
Dornhof, Johannes; Kieninger, Jochen; Muralidharan, Harshini; Maurer, Jochen; Urban, Gerald A.; Weltin, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
2
Microoptics for flat display backlighting
Autoren:
Streppel, Ulrich; Widholz, Georg
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
3
Mikrogefertigter Multi-Frequenz-Ultraschallwandler für die Implantat-zu-Implantat-Kommunikation
Autoren:
Velten, Thomas; Oevermann, Jorge; Weber, Peter; Sossalla, Adam; Knoll, Thorsten; Kebkal, Konstantin; Bannasch, Rudolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
4
Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen
Autoren:
Mutschall, Doris; Kaiser, Alena; Lehmkau, Robin; Ebermann, Martin; Neumann, Norbert; Mart, Clemens; Eßlinger, Sophia; Neuber, Markus; Weinreich, Wenke; Hiller, Karla; Seiler, Jan; Großmann, Toni D.; Shaporin, Alexey; Günther, Wolfgang
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
5
Mikromechanischer Konstant-Kraft Taster zur Stimulation und Analyse von Zellen
Autoren:
Thewes, Anna Christina; Schmitt, Philip; Löhler, Philipp; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
6
Mikrosysteme zur Messung von Haftreib- und Gleitreibfaktoren an DRIE geätzten Seitenwänden bei hohen Normalkräften im mN-Bereich
Autoren:
Mehner, Hannes; Schmitt, Philip; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
7
Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern mittels Lift-Off-Prozess für den Einsatz in Atominterferometern
Autoren:
de Wall, Sascha; Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Künzler, Christoph; Diekmann, Leonard; Wurz, Marc Christopher
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
8
Miniaturisierte Einkoppeloptik für SNSPDs
Autoren:
Möller, Christian; Schildhauer, Tony; Winzer, Andreas T.; Ortlepp, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
9
Miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor mit integrierter Interpolation
Autoren:
Seybold, Jonathan; Buelau, Andre; Fritz, Karl-Peter; Zimmermann, Andre; Frank, Alexander; Scherjon, Cor; Burghartz, Joachim
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
10
Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von Halbleiterfertigungstechnologie
Autoren:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David; Klein, Wolfgang
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
11
Miniaturized annular arrays for focused ultrasound
Autoren:
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro G.; Reitz, Sven; Scharf, Patrick; Ernst, Daniel; Wolf, Mario
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
12
Miniaturized Infrared lenses by wafer bonding technologies
Autoren:
Kulkarni, Amit; Laske, Norman; Schulz-Walsemann, Arne-Veit; Kuehl, Anja; Hagge, Juergen; Meyenburg, Ingo; Quenzer, Hans-Joachim
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
13
Modeling and Manufacturing of an Electrostatically Driven Actuator for Micropumps
Autoren:
Leistner, Henry; Anheuer, Daniel; Bosetti, Gabriele; Schrag, Gabriele; Richter, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
14
Modifikation eines Cryo-basierten Reaktiven Ionenätzprozesses zur Herstellung von bioinspirierten Nanokonusstrukturen
Autoren:
Doll, Patrick W.; Schmidt-Speicher, Leona; Bacher, Andreas; Muslija, Alban; Ahrens, Ralf; Guber, Andreas E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
15
Monolithic integration of in-plane hybrid III-V/Si photonic devices
Autoren:
Scherrer, Markus; Tiwari, Preksha; Trivino, Noelia Vico; Mauthe, Svenja; Wen, Pengyan; Schmid, Heinz; Moselund, Kirsten Emilie
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
16
Multi-Axis Micro Force Sensor Based on a CMOS Integrated Chip
Autoren:
Folkmer, Bernd; Hehn, Thorsten; Koehler, Manuel; Willmann, Alexander; Landler-Gaertner, Daniel; Dehe, Alfons
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
17
Nachhaltigkeit in der Elektronik – Eine Bestandsaufnahme
Autoren:
Kerbusch, Jochen; Gaass, Markus; Fiehler, Vera; Wenzel, Marita; Zehm, Antje
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
18
Navigating Automatic Test Equipment Production in changing times and times of uncertainty
Autoren:
Saidani, Fida
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
19
Neuartige Methode zur ladungsunabhängigen Dosismessung bei Ionenimplantation
Autoren:
Maier, Tim; Akhmadaliev, Shavkat; Bischof, Tina; Csato, Constantin; Gerold, Marcel; Koch, Robert; Kraus, Matthias; Krippendorf, Florian; Zowalla, Andre; Rüb, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress
20
Neue Aufbau- und Verbindungstechnik für die Kontaktierung leistungselektronischer Bauteile Ergebnisse aus dem BMBF-Förderprojekt ThermoFreq
Autoren:
Nachtigall-Schellenberg, Christian; Wilke, Klaus
Konferenz:
MikroSystemTechnik Kongress 2021 - Kongress