1
Alternative Kunststoffreplikationstechniken als zukünftige Fertigungstechniken in der Mikro- und Nanotechnik
Autoren:
Heckele, M.; Mehne, C.; Truckenmüller, R.; Worgull, M.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
2
Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis
Autoren:
Löchel, Bernd; Bednarzik, Martin; Waberski, Christoph
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
3
Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele
Autoren:
Wiemer, M.; Frömel, J.; Hiller, K.; Reuter, D.; Jia, C.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
4
Entwicklung eines elektronenstrahlbasierten MikroProduktions-Zentrums
Autoren:
Böhm, S.; Dilger, K.; Tanasie, G.; Zäh, M.; Reiter, A.; Franzkowiak, M.; Baertle, J.; Löwer, T.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
5
Entwicklung und Optimierung der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Formeinsätzen
Autoren:
Guttmann, Markus; Erdmann, Gunnar; Laier, Rupert; Winkler, Frank
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
6
Erfahrungen zum Einsatz von niedrigviskosen Bindersystemen beim Spritzgießen von keramischen Mikrobauteilen
Autoren:
Bauer, Werner; Hanemann, Thomas; Heldele, Richard; Müller, Marcus
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
7
Erosives Drehen für Mikro- und Nanostrukturierung als Technologieerweiterung
Autoren:
Neumann, Frank; Kunz, Stefan
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
8
ESPI für MST und Life Sciences
Autoren:
Foitzik, Andreas H.; Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Uhlig, Katja; Chrzumnicka, Ewa; Vogt, Thomas; Inwersen, Jan
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
9
Fertigung von Formeinsätzen über die galvanische Replikation von polymeren Mikrobauteilen
Autoren:
Wissmann, M.; Guttmann, M.; Hartmann, M.; Manegold, S.; Matthis, B.; Heckele, M.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
10
Formwerkzeuge für Anwendungen von Mikro bis Nano
Autoren:
Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Rudolph, Ivo; Walter, Antje; Schleunitz, Arne; Ropers, Greta; Mai, Alexander; Loechel, Bernd
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
11
Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS
Autoren:
Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
12
Galvanoformung von Mikro-Trennmembranen
Autoren:
Wohlgemuth, Christian; Werthschüztky, Roland
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
13
Großflächige Erzeugung nanoskaliger Punktstrukturen im Sub-100nm-Bereich durch Kantenabscheidung
Autoren:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
14
Heißprägen mit einem Silikonkautschukprägestempel
Autoren:
Mayr, Andreas; Sommer, Stefanie; Strobelt, Tilo; Osterwinter, Heinz
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
15
Herstellung freitragender Mikrostrukturen aus SU-8
Autoren:
Eicher, Dirk; Schlaak, Helmut F.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
16
Herstellung mikrostrukturierter Metallteile durch Mikroguss
Autoren:
Baumeister, Gundi
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
17
Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung
Autoren:
Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
18
Herstellung von polymeren Permanentstrukturen durch Nanoimprint
Autoren:
Schleunitz, Arne; Kouba, Josef; Schondelmaier, Daniel; Löchel, Bernd
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
19
Herstellung von Röntgenmasken in einem Zweistufenprozess mit dem Photoresist CAR 44
Autoren:
Schirmer, Matthias
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop
20
Hybridtechnologie zur Herstellung von Formeinsätzen
Autoren:
Jurischka, R.; Blattert, C.; Tahhan, I.; Schoth, A.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik - 1. GMM-Workshop