1
Vollständig Integrierte Plasma Elektronenquelle für ein Mikromassenspektrometer
Autoren:
Wapelhorst, Eric; Hauschild, Jan-Peter; Müller, Jörg
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
2
Vollständige Prozesskette zur Herstellung von Nickel- Formeinsätzen auf Basis von 6 Zoll Si-Wafern mit Hilfe der UVLithographie und des Resistsystems EPON SU-8
Autoren:
Hein, Herbert; Guttmann, Markus; Johnigk, Carsten; Wilson, Sandra
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
3
Wettbewerbsfähigkeit durch betriebliche Weiterbildung in der Mikrosystemtechnik
Autoren:
Stenzel, Anja; Neuy, Christine
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
4
Wieder entfernbarer Negativresist für die Mikrosystemtechnik
Autoren:
Schirmer, Matthias
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
5
Wirtschaftliches Deckeln temperaturempfindlicher Strukturen
Autoren:
Tahhan, Isam; Blattert, C.; Jurischka, R.; Schoth, A.; Reinecke, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
6
Zell Monitoring System mit multiparametrischen CMOS Halbleiter Mikrosensorchips
Autoren:
Baumann, Werner; Schreiber, Erik; Krause, Guido; Podssun, Angela; Homma, Susanne; Schrott, René; Beikirch, Helmut; Ehret, Ralf; Keuer, Andreas; Freund, Ingo; Lehmann, Mirko
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
7
Zuverlässigkeit komplexer Systeme
Autoren:
Schließer, Randolf; Krueger, Sven
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005
8
Zuverlässigkeitskonzepte von „Mikro bis Nano“ – Neue Anforderungen und Möglichkeiten der Zuverlässigkeitsbewertung für die Mikrosystemtechnik
Autoren:
Michel, B.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 - Mikrosystemtechnik Kongress 2005