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161

Mikrosystemtechnische Sensoren zum Life-Cycle-Monitoring von Automobilelektronik

Autoren:
Pustan, David; Wilde, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

162

Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten Mikroscannerspiegeln

Autoren:
Scholles, Michael; Frommhagen, Klaus; Gerwig, Christian; Lakner, Hubert; Schenk, Harald; Schwarzenberg, Markus; Bräuer, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

163

Miniaturisierter kalorimetrischer Strömungssensor auf der Basis mikrostrukturierbaren Glases

Autoren:
Schönstein, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

164

Miniaturization of a Resonant Magnetic Sensor Using Optimized Planar Magnetic Concentrators

Autoren:
Brugger, S.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

165

Minimalinvasive Chirurgie: Entwicklung eines Mikroaktorsystems für die Resektion von erkrankten Aortenklappen

Autoren:
Leester-Schädel, M.; Demming, S.; Lesche, C.; Quaden, R.; Cremer, J.; Lutter, G.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

166

Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte

Autoren:
Peter, A.; Ament, Ch.; Bauersfeld, M.-L.; Rademacher, S.; Wöllenstein, J.; Kritwattanakhron, J.; Kovács, A.; Müller, B.; Mescheder, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

167

Module zur homogenen Mischung von Zellsuspensionen und deren Prozessierung in Mikrofluidik-Chips

Autoren:
Schumacher, J. T.; Grodrian, A.; Lemke, K.; Römer, R.; Henkel, T.; Metze, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

168

Montage von Mikrooptiken für mobile DVD Laufwerke

Autoren:
Mohaupt, Matthias; Beckert, Erik; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Knittel, Joachim; Steegmüller, Ulrich; Behringer, Martin; Singer, Frank; Schwarz, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

169

MST meets Biology: Bioscora’s Lab-on-Chip System in der BIO CITY Leipzig

Autoren:
Vasilets, Larissa
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

170

Multi-target reactive sputtering technology for functional Pb(Zr,Ti)O3 thin films on 6 inch wafers

Autoren:
Vidyarthi, Vinay Shankar; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

171

Nanoelektronik – eine Chance für innovative Gründer

Autoren:
Dressel, Bertram
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

172

Nasschemisches Ätzen ultra-dünner Gläser als Substratmaterial für miniaturisierte Bauelemente

Autoren:
Ngo, Luong van; Behnel, Nils; Seidel, Helmut; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

173

Neuartige Absolutwertgeber auf Basis Magneto-Resistiver Sensoren

Autoren:
Velling, Peter; Höller, Heinrich; Stritzke, Burkhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

174

Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIR

Autoren:
Egloff, Thomas; Grüger, Heinrich; Zimmer, Fabian; Schenk, Harald; Scholles, Michael; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

175

Neue oberflächenmikromechanische Technologie zur Herstellung kapazitiver Sensoren auf Basis von porösem Silizium

Autoren:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

176

Neue Technologie in der Herstellung – neue Chance am Markt

Autoren:
Thieme, Torsten; Bertz, Andreas; Dittrich, Claus; Gessner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

177

Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen

Autoren:
Michaeli, W.; Kamps, T.; Bach, Fr.-W.; Hartz, K.; Schmachtenberg, E.; Schmiederer, D.; Lurz, A.; Vetter, K.; Piotter, V.; Prokop, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

178

NeuroProbes - Development of Modular Multifunctional Probe Arrays for Neuroscience

Autoren:
Ruther, P.; Ruther, P.; Herwik, S.; Herwik, S.; Kisban, S.; Kisban, S.; Seidl, K.; Seidl, K.; Spieth, S.; Rubehn, B.; Rubehn, B.; Haj-Hosseini, N.; Haj-Hosseini, N.; Steigert, J.; Steigert, J.; Daub, M.; Daub, M.; Paul, O.; Paul, O.; Stieglitz, T.; Stieglitz, T.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Neves, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

179

Niedertemperatur Wafer Bonding – Entwicklung, Charakterisierung und Anwendung

Autoren:
Rabold, Martin; Doll, Alexander; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007

180

NIR-Spektroskopie : Entwicklung eines miniaturisierten MOEMSSpektrometer für den Einsatz im NIR-Bereich

Autoren:
Zimmer, Fabian; Grueger, Heinrich; Heberer, Andreas; Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007