161
Mikrosystemtechnische Sensoren zum Life-Cycle-Monitoring von Automobilelektronik
Autoren:
Pustan, David; Wilde, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
162
Miniaturisierte Laserprojektionssysteme basierend auf zweidimensionalen resonanten Mikroscannerspiegeln
Autoren:
Scholles, Michael; Frommhagen, Klaus; Gerwig, Christian; Lakner, Hubert; Schenk, Harald; Schwarzenberg, Markus; Bräuer, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
163
Miniaturisierter kalorimetrischer Strömungssensor auf der Basis mikrostrukturierbaren Glases
Autoren:
Schönstein, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
164
Miniaturization of a Resonant Magnetic Sensor Using Optimized Planar Magnetic Concentrators
Autoren:
Brugger, S.; Paul, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
165
Minimalinvasive Chirurgie: Entwicklung eines Mikroaktorsystems für die Resektion von erkrankten Aortenklappen
Autoren:
Leester-Schädel, M.; Demming, S.; Lesche, C.; Quaden, R.; Cremer, J.; Lutter, G.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
166
Modellbasierte Verfahren zur Bestimmung der Luftgüte
Autoren:
Peter, A.; Ament, Ch.; Bauersfeld, M.-L.; Rademacher, S.; Wöllenstein, J.; Kritwattanakhron, J.; Kovács, A.; Müller, B.; Mescheder, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
167
Module zur homogenen Mischung von Zellsuspensionen und deren Prozessierung in Mikrofluidik-Chips
Autoren:
Schumacher, J. T.; Grodrian, A.; Lemke, K.; Römer, R.; Henkel, T.; Metze, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
168
Montage von Mikrooptiken für mobile DVD Laufwerke
Autoren:
Mohaupt, Matthias; Beckert, Erik; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Knittel, Joachim; Steegmüller, Ulrich; Behringer, Martin; Singer, Frank; Schwarz, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
169
MST meets Biology: Bioscora’s Lab-on-Chip System in der BIO CITY Leipzig
Autoren:
Vasilets, Larissa
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
170
Multi-target reactive sputtering technology for functional Pb(Zr,Ti)O3 thin films on 6 inch wafers
Autoren:
Vidyarthi, Vinay Shankar; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
171
Nanoelektronik – eine Chance für innovative Gründer
Autoren:
Dressel, Bertram
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
172
Nasschemisches Ätzen ultra-dünner Gläser als Substratmaterial für miniaturisierte Bauelemente
Autoren:
Ngo, Luong van; Behnel, Nils; Seidel, Helmut; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
173
Neuartige Absolutwertgeber auf Basis Magneto-Resistiver Sensoren
Autoren:
Velling, Peter; Höller, Heinrich; Stritzke, Burkhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
174
Neuartiger MST Ansatz zur Realisierung kostengünstiger Systeme zum "Hyperspectral Imaging" im NIR
Autoren:
Egloff, Thomas; Grüger, Heinrich; Zimmer, Fabian; Schenk, Harald; Scholles, Michael; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
175
Neue oberflächenmikromechanische Technologie zur Herstellung kapazitiver Sensoren auf Basis von porösem Silizium
Autoren:
Knese, K.; Armbruster, S.; Benzel, H.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
176
Neue Technologie in der Herstellung – neue Chance am Markt
Autoren:
Thieme, Torsten; Bertz, Andreas; Dittrich, Claus; Gessner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
177
Neue Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen über flüssige Phasen
Autoren:
Michaeli, W.; Kamps, T.; Bach, Fr.-W.; Hartz, K.; Schmachtenberg, E.; Schmiederer, D.; Lurz, A.; Vetter, K.; Piotter, V.; Prokop, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
178
NeuroProbes - Development of Modular Multifunctional Probe Arrays for Neuroscience
Autoren:
Ruther, P.; Ruther, P.; Herwik, S.; Herwik, S.; Kisban, S.; Kisban, S.; Seidl, K.; Seidl, K.; Spieth, S.; Rubehn, B.; Rubehn, B.; Haj-Hosseini, N.; Haj-Hosseini, N.; Steigert, J.; Steigert, J.; Daub, M.; Daub, M.; Paul, O.; Paul, O.; Stieglitz, T.; Stieglitz, T.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Neves, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
179
Niedertemperatur Wafer Bonding – Entwicklung, Charakterisierung und Anwendung
Autoren:
Rabold, Martin; Doll, Alexander; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007
180
NIR-Spektroskopie : Entwicklung eines miniaturisierten MOEMSSpektrometer für den Einsatz im NIR-Bereich
Autoren:
Zimmer, Fabian; Grueger, Heinrich; Heberer, Andreas; Sandner, Thilo; Schenk, Harald; Lakner, Hubert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007