Autoren:
Ruther, P.; Ruther, P.; Herwik, S.; Herwik, S.; Kisban, S.; Kisban, S.; Seidl, K.; Seidl, K.; Spieth, S.; Rubehn, B.; Rubehn, B.; Haj-Hosseini, N.; Haj-Hosseini, N.; Steigert, J.; Steigert, J.; Daub, M.; Daub, M.; Paul, O.; Paul, O.; Stieglitz, T.; Stieglitz, T.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Neves, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2007