IEC 62374:2007
Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films
Ausgabedatum:
2007-03
Edition:
1.0
Sprache: EN-FR - zweisprachig englisch/französisch
Seitenzahl: 43 VDE-Artnr.: 213394
Provides a test method of Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) for gate dielectric films on semiconductor devices and a product lifetime estimation method of TDDB failure