VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) (Hrsg.)

GMM-Fb. 97: Mikro-Nano-Integration

Beiträge des 8. GMM-Workshops 15. – 17.09.2020, Online-Veranstaltung

GMM-Fachberichte

2020, 88 Seiten, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5326-0, E-Book: ISBN 978-3-8007-5327-7
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Inhaltsverzeichnis Vorwort

Funktionale Nanostrukturen in smarten Mikrosystemen

Nanostrukturen, die in Mikrosysteme integriert werden können, liefern wichtige Beiträge, indem sie
• elektronische Komponenten verkleinern,
• neue Funktionalitäten ermöglichen,
• Eigenschaften wesentlich verbessern,
• Sensoren empfindlicher oder selektiver werden lassen,
• den Energiebedarf senken,
• und bei der Systemintegration und der AVT helfen.

Für die industrielle Nutzung gilt es, wichtige Fragen zu klären:
• Wie werden Nanostrukturen ins Mikrosystem integriert?
• Welche Fertigungsverfahren werden genutzt?
• Wie stabil sind sie unter realen Einsatzbedingungen?
• Wie können Nanostrukturen im Mikrosystem charakterisiert und ihre Qualität sichergestellt werden?
• Wie können die Chancen der Mikro-Nano-Integration Kunden und Mitarbeitern vermittelt werden?

Neben Mikrosensorik und AVT rücken neue Technologien wie die 2D-Elektronik in den Fokus, die die Integration komplexer Systeme auch auf Folien und Gläsern ermöglichen.
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)

Die GMM hat die Aufgabe, die wissenschaftliche und technische Entwicklung im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem-, Nano- und Feinwerktechnik sowie deren breite Anwendungen zu fördern. Sie initiiert den dazu erforderlichen Dialog zwischen Herstellern, Anwendern und Wissenschaft und bildet ein Forum für Diskussionen über diese Techniken in der Öffentlichkeit. Die GMM vertritt die Belange der in ihr vertretenen Arbeits- und Fachgebiete gegenüber politischen Entscheidungsträgern und bringt ihre Fachkompetenz in die Gestaltung der Förderpolitik ein.

1

Concept for two-dimensional TMDs as Functional Layer for Gas Sensing Applications

Autoren: Neubieser, Rahel-Manuela; Knauss, Anna Miriam; Michel, Marvin; Weyers, Sascha; Wree, Jan-Lucas; Devi, Anjana

2

3

Vitalitätsuntersuchung adhärenter Stammzellen auf nano-strukturierter Silicium-Oberfläche

Autoren: Thewes, Anna C.; Breisch, Marina; Sengstock, Christina; Hoffmann, Martin

4

MEMS based speakers – sounds good?!

Autoren: Beer, Daniel; Kueller, Jan; Zhykhar, Albert; Fritsch, Tobias; Maennchen, Andreas; Strehle, Steffen; Knechtel, Roy; Boes, Joachim

5

Study on TiAlOx as high-k dielectric for MISHEMTs

Autoren: Siebdrath, Nora; Seidel, Sarah; Schmid, Alexander; Heitmann, Johannes

6

Combining Nanoimprint Lithography and Nanowire Contact Printing on a Single Platform

Autoren: Salimitari, Parastoo; Supreeti, Shraddha; Strehle, Steffen

7

8

9

Kraft- und Wegsensor zur Nanoindentierung

Autoren: Frank, Th.; Maier, C.; Kermann, M.; Grün, A.; Cyriax, A.; Jayaprakash, H.; Ortlepp, Th.

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11

Mikrotechnologische Fertigung von integrierten optischen Gittern für den Einsatz in Atominterferometern

Autoren: de Wall, S.; Kassner, A.; Dencker, F.; Künzler, C.; Heine, H.; Herr, W.; Christ, M.; Krutzik, M.; Rasel, E. M.; Wurz, M. C.

12

Growth of site- and polarity-controlled GaN nanowires on Silicon for high-speed LEDs

Autoren: Blumberg, Christian; Haeuser, Patrick; Wefers, Fabian; Meier, Johanna; Bacher, Gerd; Weimann, N.; Prost, W.

13

Single-Photon Avalanche Diode (SPAD)-basiertes Sensorsystem zur Messung der Fluoreszenzlebensdauer von funktionalisierten Silica-Nanopartikeln

Autoren: Netaev, Alexander; Karaduman, Birvan Dogan; Sheikh, Mohammed Ali; Schierbaum, Nicolas; Seidl, Karsten

14

Integrierte Mikrotransformatoren auf Silizium für Hochfrequenzanwendungen

Autoren: Dinulovic, Dragan; Shousha, Mahmoud; Syed, Arefin; Haug, Martin

15

Detektion und Auswertung von papierbasierten mikrofluidischen Systemen per Smartphone

Autoren: Wagner, Sven; Builes Sánchez, Jaime Esteban; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas; Hutterer, Johanna; Proll, Günther; Gauglitz, Günter

16

Resistive Switching Behavior of Lateral and Vertical MoS2 Devices

Autoren: Geng, Zhansong; Ziebold, Christian; Thiele, Sebastian; Pezoldt, Joerg; Ziegler, Martin; Schwierz, Frank

17

Tuning Acoustic Sensing Properties of MEMS Cantilever by Nonlinear Operation

Autoren: Lenk, Claudia; Seeber, Lars; Ziegler, Martin