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81

Ermittlung der piezoelektrischen Koeffizienten von AlN-Dünnfilmen mit unterschiedlicher Kristallorientierung

Autoren:
Ababneh, A.; Schmid, U.; Hernando, J.; Sánchez-Rojas, J. L.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

82

Ermittlung von mechanischen Defekten in Mikrosystemen anhand dynamischer Messungen für die Produktionsüberwachung

Autoren:
Gerbach, Ronny; Petzold, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

83

Erwärmung von thermoplastischen Kunststoffen mit Ultraschall für das Mikrospritzgießen

Autoren:
Michaeli, Walter; Kamps, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

84

Exakte und reproduzierbare Mikroklebungen für Hybridsysteme durch bauteilintegrierte Klebhilfen

Autoren:
Wagner, Mario; Böhm, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

85

Fabrication of mono-crystalline Silicon Micro-mirror Arrays using adhesive Wafer Transfer Bonding

Autoren:
Zimmer, Fabian; Bring, Martin; List, Matthias; Lapisa, Martin; Niklaus, Frank
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

86

Fertigung von Hybriddruckköpfen aus Silizium und Kunststoff

Autoren:
Kalkandjiev, Kiril; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

87

Finite Element Method Based Design Optimization of Electrochemical Transducer Electrodes for Detection of Bio Molecules

Autoren:
Frey, A.; Schienle, M.; Kühne, I.; Hiltawsky, K.; Meyburg, S.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

88

Flexibles Mikroreaktionssystem für die Prozessoptimierung

Autoren:
Mendl, Alexander; Boskovic, Dusan; Kröber, Hartmut; Türcke, Tobias; Löbbecke, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

89

Flip-Chip Technologie mit neuartigen UBM für die Ankontaktierung von Transistoren in III/V-Technologie

Autoren:
Zhytnytska, R.; Sidorov, V.; Würfl, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

90

Frequenzstimmbare Generatoren zur Energiegewinnung aus Umgebungsvibrationen mit variablen Vibrationsfrequenzen

Autoren:
Eichhorn, Christoph; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

91

FreshScan – Portables optisches Messsystem zur Überwachung des Frischegrades von Fleisch

Autoren:
Thomasius, Rolf; Kim, Jin-U.; Nestler, Volker; Reichl, H.; Jordan, Grace; Schröder, Henning; Lang, K.-D.; Maiwald, Martin; Sumpf, Bernd; Schmidt, Heinar; Kronfeldt, H.-D.; Hengl, Christine; Wulf, Janina
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

92

Funktionelle Komponenten für einen linearen Reluktanzschrittmotor

Autoren:
Waldschik, Andreas; Feldmann, Marco; Wiedmann, Karsten; Janssen, Gerd; Ponick, Bernd; Mertens, Axel; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

94

Gezielte chemische Stimulation einzelner Tabak Protoplasten mittels hochaufgelöster Wirkstoffabgabe

Autoren:
Wangler, N.; Brett, O.; Laufer, M.; Straßer, M.; Dovzhenko, A.; Voigt, K.; Palme, K.; Palme, K.; Daub, M.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Steigert, J.; Steigert, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

95

GLOBE MST – Metastudie zum Stand der Mikrosystemtechnik auf der Basis inhaltsanalytischer Methoden

Autoren:
Dickerhof, Markus; Parusel, Anna; Bittner, Klaus; Anson, Susan; Kautt, Matthias; Gengenbach, Ulrich; Kaufmann, Ulrike; Voges, Udo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

96

Großflächiges Mikrospiegelsystem zur Tageslichtlenkung

Autoren:
Jäkel, Andreas; Li, Qingdang; Viereck, Volker; Hillmer, Hartmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

97

Großsignalverhalten von MEMS Varaktoren als Abstimmelement in Duplexfiltern für Basisstationen

Autoren:
Mzyk, R.; Fischer, G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

98

Herstellung und Charakterisierung von photonischen Kristall-Kavitäten im Sichtbaren

Autoren:
Nüsse, N.; Barth, M.; Löchel, B.; Benson, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

99

Herstellung und Evaluierung nanoskaliger reaktiver Strukturen für den Einsatz von Niedertemperatur-Bondverfahren in der Mikrosystemtechnik

Autoren:
Bräuer, J.; Hofmann, L.; Baum, M.; Wiemer, M.; Geßner, T.; Geßner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

100

Herstellung von 3-D Mikrospulen in einem effizienten MST-Prozess

Autoren:
Kratt, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Mohr, J.; Börner, M.; Korvink, J. G.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.; Wallrabe, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009