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181

Neue In-Vitro Assays mit der "CellCartridge": Kombination von Kryokonservierung und Lebend-Zell Mikroskopie

Autoren:
Gepp, Michael M.; Ehrhart, Friederike; Zimmermann, Heiko; Zimmermann, Heiko
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

182

Neuer hochauflösender und laminierbarer Epoxid-Trockenresistfilm für extreme Schichtdicken

Autoren:
Wangler, N.; Beck, S.; Ahrens, G.; Voigt, A.; Grützner, G.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

183

Nickel-Kohlenstoffschichten für Druck- und Kraftsensoren

Autoren:
Schultes, Günter; Schmid-Engel, Hanna; Probst, Anne-Catherine; Uhlig, Steffen; Göttel, Dirk; Bock, Jochen; Bambauer, Jörn; Speicher, Tobias; Lambert, Martin; Koppert, Ralf; Werner, Ulf; Berger, Shlomo; Zohar, Keren
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

184

Niedrigtemperatur-Direktbonden von Silizium-, Borosilikat- und Quarzglaswafern und der Einfluss von Funktionsschichten

Autoren:
Eichler, Marko; Hennecke, Phillip; Michel, Benedikt; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

185

Numerische Multiphysiksimulationen für mikrofluidische LifeScience- Anwendungen

Autoren:
Hagmeyer, B.; Zibek, S.; Zibek, S.; Stelzle, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

186

Nutzung UV aushärtender Polymere zum Aufbau elektrostatischer Aktuatorik

Autoren:
Lange, N.; Lange, N.; Wippermann, F.; Beckert, E.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

187

Oberflächenverstärkte Raman-Spektroskopie (SERS) auf laserlithografisch nano-strukturierten Oberflächen für empfindliche Analytik

Autoren:
Mohammadi, L. Ben; Hundertmark, N.; Kullmann, F.; Fleißner, F.; Klotzbücher, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

188

Optimierung des Mikro-Fertigungsprozesses durch Kombinationsbearbeitung

Autoren:
Neumann, F.; Kunz, St.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

189

Optimierung eines Paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik

Autoren:
Vonderschmidt, Stefan; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

190

Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine

Autoren:
Polster, Tobias; Mehner, Hannes; Oeder, Andreas; Hoffmann, Martin; Sinzinger, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

191

Optische Mikrostrukturen in Photovoltaik Modulen

Autoren:
Backes, Andreas; Adamovic, Nadja; Meinhardt, Gerald; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

192

Optisches Vermessen von Mikrosystemen in Abhängigkeit von der Beleuchtungsfarbe

Autoren:
Boese, Christoph; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

193

Optoelektronischer Rauheitssensor auf Basis kompakter Strahler-Empfänger-Baugruppen Roughness sensor based

Autoren:
Will, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

194

Performance Modeling and Characterization of AlN Resonator

Autoren:
Qiu, H. C.; Qiu, H. C.; Schwarz, P.; Feili, D.; Wu, X. Z.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

195

Photostrukturierbares Glas und Glaskeramiken als mechanisches Bauteil

Autoren:
Link, Stefan; Häfner, M.; Dietrich, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

196

Piezoelektrische Multilayer-Generatoren aus PVDF-Folie

Autoren:
Bischur, Enrico; Schwesinger, N.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

197

Piezoelektrischer Mikroaktor für ein Rundfensterimplantat

Autoren:
Kaltenbacher, D.; Zenner, H.-P.; Wildenstein, D.; Dalhoff, E.; Goll, E.; Schächtele, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

198

Piezoresistive Dünnschichtsensorik auf Basis amorpher Kohlenwasserstoffschichten

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Hauschild, Frank; Wolf, Lisa; Wagner, Hannes
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

199

Piezowiderstände aus polykristallinem Silizium durch Aluminiuminduzierte Kristallisation

Autoren:
Uhlig, Steffen; Rau, Stephan; Schultes, Günter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

200

PIMMS, ein universell einsetzbares Mikromassenspektrometer

Autoren:
Quiring, Grigoriy; Reinhardt-Szyba, Maria; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011