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41

DLC-Beschichtung auf SU-8-Fotoresist für piezoresistive Anwendungen in der Kraftsensorik

Autoren:
Jordan, Alexa; Petersen, Mirjana; Bandorf, Ralf; Büttgenbach, Stephanus; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

42

Dreidimensionale Verformungsanalyse von MEMS/NEMS mittels Röntgencomputertomographie

Autoren:
Hammacher, Jens; Dost, Michael; Faust, Wolfgang; Scheiter, Lutz; Erb, Rolf; Rzepka, Sven; Michel, Bernd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

43

Druckluft-unterstütztes thermisches Deckeln folienbasierter Lab-on-a-Chip Kartuschen

Autoren:
Kosse, Dominique; Buselmeier, Dirk; Müller, Claas; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

44

Drucksensor-Implantat als Schlüsselkomponente für neue Behandlungsansätze bei Herzinsuffizienz - Projekt COMPASS

Autoren:
Urbaszek, Albrecht; Trieu, Hoc-Khiem; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

45

Dünnschichtsensorik zur Online-Überwachung von Scherschneidprozessen

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Hauschild, Frank; Kräusel, Verena; Mintenbeck, Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

46

Ein Funktionskatalog zur Unterstützung verteilter und hybrider Produktentstehungsprozesse in der Mikrosystemtechnik

Autoren:
Albers, Albert; Börsting, Peter; Matthiesen, Sven
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

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48

Ein Smart Label zum Auslesen und Übertragen von Temperaturwerten basierend auf organischer Elektronik

Autoren:
Pankalla, Sebastian; Ganesan, Ramkumar; Glesner, Manfred; Krumm, Jürgen; Ludwig, Klaus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

49

Ein Verfahren zur Herstellung von funktionalen Mikrostrukturen mit sehr hohem Aspektverhältnis durch komplementäre Stützstrukturen

Autoren:
Nazmov, Vladimir; Last, Arndt; Marschall, Felix; Mohr, Jürgen; Simon, Markus; Vogt, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

50

Einbettung von plasmonischen Elementen in photonische Kristall-Resonatoren für Licht-Materiekopplung

Autoren:
Schoengen, M.; Nüsse, N.; Probst, J.; Kronast, F.; Barth, M.; Wolters, J.; Löchel, B.; Benson, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

51

Einsatz energieautarker Mikrosysteme zur Zustandserfassung von Kugelgewindetrieben in Werkzeugmaschinen

Autoren:
Denkena, B.; Möhring, H.-C.; Bertram, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

52

Einsatz von Bidirektionalen Mikrodisplays in der Messtechnik als invers-konfokaler Sensor

Autoren:
Großmann, C.; Großmann, C.; Zwick, S.; Perske, F.; Baumgarten, J.; Herold, R.; Brenner, S.; Vogel, U.; Riehemann, S.; Notni, G.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

53

Einsatz von verlorenen Formen für die Herstellung von mikrofluidischen Strukturen mittels der Hot Melt Ink Drucktechnologie

Autoren:
Kain, A.; Müller, C.; Reinecke, H.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

54

Einsatzmöglichkeiten mikrooptischer Komponenten für Mask Aligner Belichtungssysteme

Autoren:
Hornung, M.; Schindler, K.; Vogler, U.; Voelkel, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

55

Electric power generator for a micro heat engine

Autoren:
Ravindran, S. K. T.; Huesgen, T.; Huesgen, T.; Kroener, M.; Woias, P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

56

Elektrisch geschaltete Mikrofluidsegmente für die 'Segment-on-Demand'-Technik

Autoren:
Schneider, S.; Budden, M.; Günther, P. M.; Schwieger, S.; Kielpinski, M.; Henkel, Th.; Köhler, J. M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

57

Elektrochemische Abscheidung von Pd/Zn-Multilagen für das Fügen mit reaktiven Materialsystemen

Autoren:
Besser, J.; Braeuer, J.; Wiemer, M.; Gessner, T.; Gessner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

58

Elektrochemisches Polieren von 3D-Mikrosystemen hergestellt mittels Mikrofunkenerosion

Autoren:
Lesche, Claudia; Stegemann, Daniel; Krah, Thomas; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

59

Elektromotorischer Greifer für die Montage feinwerktechnischer und mikrotechnischer Systeme

Autoren:
Firat, Özgür; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Bertsch, Benjamin; Bretthauer, Georg; Bretthauer, Georg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

60

Empfangsmikrospulenarray für Magnetresonanztomographie

Autoren:
Gruschke, O. G.; Clad, L.; Baxan, N.; Kratt, K.; Mohmmadzadeh, M.; Elverfeldt, D. von; Peter, A.; Hennig, J.; Badilita, V.; Wallrabe, U.; Korvink, J. G.; Korvink, J. G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011