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1

CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkers

Autoren:
Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Schmidt, Andreas; Klieber, Robert; Haas, Norbert; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

2

CMOS integrierte Spannungsversorgung basierend auf Mikro-Brennstoffzellen

Autoren:
Moranz, C.; Kuhl, M.; Zimmermann, D.; Becker, J.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

3

CMOS kompatible, nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays

Autoren:
Jupe, A.; Goehlich, A.; Meißner, F.; Endler, I.; Vogt, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

4

Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflachenmikrostrukturierter piezoelektrischer :Mikromembranantriebe

Autoren:
Zähringer, Sandy; Purr, Julia; Schwesinger, Norbert
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

5

Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Autoren:
Hoheisel, Dominik; Rissing, Lutz
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

6

Desktop Mikromontagezelle für Automatisierte Präzisionsmontagen Optischer Komponenten

Autoren:
Brecher, C.; Haag, M.; Müller, T.; Haag, S.; Pyschny, N.; Härer, S.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

7

Development of an Energy-Autarkic Water Meter

Autoren:
Sikora, Axel; Werner, Rico; Villalonga, Pancraç; Cisneros, Andres; Becker, Philipp; Hoffmann, Daniel; Willmann, Alexander
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

8

Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen

Autoren:
Haas, S.; Schramm, M.; Heinz, S.; Loebel, K.-U.; Reuter, D.; Bertz, A.; Horstmann, J. T.; Gessner, T.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

9

DNA-Gelelektrophorese in offenen mikrofluidischen Systemen

Autoren:
Gutzweiler, Ludwig; Riegger, Lutz; Koltay, Peter; Zengerle, Roland; Tanguy, Laurent
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

10

Doppelresist-Prozess zur Herstellung eines Mikro-Thermogenerators im cross-plane Design mit reflowgelöteten Kontakten

Autoren:
Roth, Reinhard; Rostek, Raimar; Cobry, Keith; Woias, Peter
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

11

Drahtloses Auswertesystem für kapazitive gedruckte Beschleunigungssensoren

Autoren:
Göstenkors, Timo; Schindler, Rico; Schweiger, Hendrik; Bau, Roland; Zielke, Dirk
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

12

Druckluftunterstützes Thermodiffusionsbonden zur Herstellung dünnwandiger Lab-on-a-Chip Kartuschen mit zwei fluidischen Ebenen

Autoren:
Kosse, D.; Schwemmer, F.; Buselmeier, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

13

Dynamic analysis of the torsional resonant mode of piezoelectric microcantilevers

Autoren:
Qiu, H. C.; Feili, D.; Wu, X. Z.; Seidel, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

14

Echtzeit Analyse von Spurenkontaminationen in wässrigen Lösungen im ppb-Bereich

Autoren:
Bauhuber, Michael; Hutterer, Albert; Hummel, Helmut; Lechner, Alfred
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

15

Effiziente Energiewandlung mit GaN-basierter Leistungselektronik

Autoren:
Waltereit, Patrick; Reiner, Richard; Müller, Stefan; Czap, Heiko; Mikulla, Michael; Ambacher, Oliver
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

16

Ein CMOS-Stresskartierungssystem mit 24 FET-basierten Stresssensoren für intelligente kieferorthopädische Brackets

Autoren:
Kuhl, Matthias; Gieschke, Pascal; Paul, Oliver; Manoli, Yiannos
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

17

Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung

Autoren:
Hampl, S.; Leistritz, B.; Saft, B.; Hoffmann, M.; Hennig, E.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

18

Einfluss der Materialverteilung in porosizierter LTCC auf die effektive Permittivität durch finite 3D Feld-Simulation

Autoren:
Steinhäußer, F.; Talai, A.; Koelpin, A.; Weigel, R.; Bittner, A.; Schmid, U.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

19

Einfluss der Morphologie auf die Sensitivität eines photonischen Biosensors

Autoren:
Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Mescheder, U.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen

20

Einsatz der Dielektrischen Analyse zur Untersuchung der Alterung von Polymeren bei Hochtemperaturlagerung

Autoren:
Becker, K.-F.; Bauer, J.; Thomas, T.; Kahle, R.; Braun, T.; Daus, Lars H.; Aschenbrenner, R.; Lang, K.-D.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen