1
Neues Biosensorkonzept auf der Basis der Kelvin-Methode
Autoren:
Ünlübayir, S.; Kumar, P.; Trieu, H-K.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen
Autoren:
Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Mohr, J.; Saile, V.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Nichtlineares Steifigkeits- und Dämpfungsmodell für weiche und harte PZT Keramiken
Autoren:
Goldschmidtböing, F.; Neiss, S.; Kröner, M.; Woias, P.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Offene Test- und Entwicklunsplattform für Mikrosysteme
Autoren:
Toszkowski, G.; Dahmen, N.; Dahmen, U.; Degen, C.; Göttert, J.; Hermanns, F.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Optimierung von Chip-Architekturen effizienter Zellsorter basierend auf dem Elektrowetting-Verfahren
Autoren:
Schreiber, Fedor; Rennings, Andreas; Erni, Daniel
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Opto-mechanische Mikrosysteme zur hyperspektralen Bildgebung
Autoren:
Grewe, A.; Endrödy, C.; Fütterer, R.; Cu-Nguyen, P.-H.; Steiner, S.; Hillenbrand, M.; Correns, M.; Hoffmann, M.; Linß, G.; Zappe, H.; Seifert, A.; Kley, E. B.; Sinzinger, S.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Parallelisierte Fertigung mikro-optischer Kameraobjektive
Autoren:
Wippermann, F. C.; Reimann, A.; Dunkel, J.; Bräuer, A.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Piezoelektrische AlN-Bimorphe als niederfrequent-resonante Mikroaktoren mit großem Stellweg
Autoren:
Hampl, S.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für Hochtemperaturanwendungen
Autoren:
Uhlig, S.; Schmid-Engel, H.; Werner, U.; Schultes, G.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die Partikelanalyse
Autoren:
Hofmann, Meike; Müller, Ralf; Grewe, Adrian; Brodersen, Olaf; Sinzinger, Stefan
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Polarisationsunabhängige SOI-Wellenleiter und integrierte SOI-Polarisationsdreher
Autoren:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Gong, Lin; Lipka, Timo; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Poröses Silizium auf SOI Substraten
Autoren:
Backes, A.; Patocka, F.; Walkoun, P.; Schmid, U.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie
Autoren:
Mescheder, Ulrich; Gu, Qingyun; Müller, Bernhard
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Prototyp eines Reachthrough-Siliziumphotomultipliers
Autoren:
Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Röder, R.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Prozesskette zur Herstellung von polymeren Mikrohohlnadeln mittels UV Imprint-Lithographie
Autoren:
Welte, G.; Rieper, T.; Schumacher, A.; Schmelz, M.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Rapid Immunodiagnostic Kits based on proprietary 1-step chemistry for covalent and leach-proof antibody immobilisation
Autoren:
Vashist, S. K.; Czilwik, G.; Stetten, F. von; Zengerle, R.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
17
Rapid-Prototyping von Dünnschichtsensoren für Zellkulturchips durch direkte Strukturierung mit einem Ultra-Kurzpulslaser
Autoren:
Bonk, S. M.; Oldorf, P.; Weihe, T.; Stubbe, M.; Peters, R.; Baumann, W. H.; Gimsa, J.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
18
Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte Durchflusszytometrie
Autoren:
Baßler, Michael; Myagmar, Khaliun; Sommer, Christian; Quint, Stephan
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
19
Realisierung von Low-Cost-Packaging-Lösungen in der Sensorik durch Einsatz von dünnen, hermetisch dichten Borosilikatglasfilmen
Autoren:
Hansen, Ulli; Maus, Simon; Töpper, Michael
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Refraktive Röntgenlinsen zur Intensitätserhöhung im Spot einer Röntgenröhre
Autoren:
Vogt, H.; Last, A.; Mohr, J.; Marschall, F.; Kluge, M.; Nazmov, V.; Mettendorf, K.-U.; Eisenhower, R.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen