1
Replikation von sub-100 nm Strukturen mittels UV-NIL unter Verwendung von Kompositstempeln aus h- und s-PDMS
Authors:
Hülsen, Christoph; Probst, Jürgen; Löchel, Bernd
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
Resonanter berührungsloser Mikrotastkopf in Silicium-Mikromechanik
Authors:
Goj, Boris; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Rolle-zu-Rolle-Produktion von Mikrosystemen aus Kunststofffolien mittels Ultraschallheißprägen
Authors:
Memering, B.; Gerhardy, C.; Schomburg, W. K.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Rotatorischer Mikroaktor auf Basis des Gerotor-Prinzips mit neuartiger fluidischer Steuerung
Authors:
Leester-Schädel, Monika; Thies, Jan-Wilhelm; Schubert, Thomas; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Segmentierte, geschlossene Mikrobioreaktoren für Hochdurchsatzapplikationen humaner embryonaler Stammzellen
Authors:
Meiser, I.; Primavessy, D. A. A.; Beier, A. F. J.; Gastrock, G.; Lemke, K.; Zimmermann, H.; Neubauer, J. C.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Sensitivitätsoptimierung von vertikalen Hallsensoren mit drei Kontakten
Authors:
Sander, C.; Cornils, M.; Vecchi, M. C.; Paul, O.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Sensitivitätssteigerung von piezoelektrischen, resonant angetriebenen Mikrosensoren durch digitale Q-Faktorverstärkung
Authors:
Kucera, Martin; Hofbauer, Franz; Wistrela, Elisabeth; Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Sensorbasierte Mikrosysteme zur Überwachung von Fertigungs-prozessen
Authors:
Lahmann, Heinz-Wolfgang
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Sensorfasern auf Basis von Ni:a-C:H-Dünnschichten und zugehörige Messelektronik
Authors:
Vollberg, D.; Uhlig, S.; Göttel, D.; Schultes, G.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Sensorsystem zur Fluoreszenzdetektion in der Mikrofluidik
Authors:
Jeske, D.; Alstadt, B.; Büddefeld, J.; Göttert, J.; Klauth, P.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern
Authors:
Müller, Lutz; Hoffmann, Martin; Käpplinger, Indira; Brode, Wolfgang; Biermann, Steffen
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Simulation der Energiebilanz von autonomen mobilen Sensorsystemen
Authors:
Rombach, S.; Meckler, S.; Manoli, Y.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Smart Packaging in der Fertigung von Elektroniksystemen
Authors:
Wolf, J.; Kostelnik, J.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Smart Tooth
Authors:
Becker, Felix; Sander, Christian; Schmidt, Falko; Lapatki, Bernd; Paul, Oliver
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten
Authors:
Kovacs, A.; Malisauskaite, A.; Ivanov, A.; Mescheder, U.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Stressmessung beim Aufbau und Test von Mikrosystemen
Authors:
Schreier-Alt, Thomas; Chmiel, Gerhard; Ansorge, Frank; Lang, Klaus-Dieter
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
17
Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-Rückseitenkontaktierung
Authors:
Meinecke, Ch.; Hofmann, L.; Bertz, A.; Gottfried, K.; Geßner, T.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
18
Thermisch aktuierbare asphärische Mikrospiegel
Authors:
Pauls, M.; Brunne, J.; Wallrabe, U.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
19
Thermisch robuste und hysteresearme Tunnelmagnetowiderstands-Sensoren für Längen- und Winkelmessungen
Authors:
Lehndorff, R.; Paul, J.; Casper, F.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
20
Tintenstrahldruck von leitfähigen und transparenten Ionengelen
Authors:
Löffelmann, U.; Mager, D.; Korvink, J. G.
Conference:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen