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201

Stressuntersuchung und Optimierung von SOI-basierten Membranen

Autoren:
Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Huster, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

202

Synthese von funktionalisierten sphärischen Partikeln im segmentiertem Fluss in mikrostrukturierten Reaktoren

Autoren:
Röseling, D.; Türcke, T.; Horn, B.; Löbbecke, S.; Krause, H. H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

203

Tailored coatings for polymer surface permeability control in microfluidic devices

Autoren:
Schmidt, M.; Rupp, J.; Zinober, S.; Zheng, Z.; Müller-Fiedler, R.; Müller, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

204

Taktile Messtechnik an Mikrobohrungen mit hohem Aspektverhältnis

Autoren:
Peiner, Erwin; Doering, Lutz; Stranz, Andrej
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

205

Technologie-Plattform für Nukleinsäure basierte Biochip-Anwendungen

Autoren:
Bönisch, Andreas; Mader, Andreas; Brandstetter, Thomas; Rühe, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

206

Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis für zukünftige High-Tech-Produkte

Autoren:
Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

207

Textilbasierte Solarzellen – ein Weg zur Energieversorgung von Mikrosystemen

Autoren:
Zimmermann, Yvonne; Neudeck, Andreas; Möhring, Uwe; Sensfuss, Steffi; Nazmutdinova, Gulnara; Schache, Hannes; Loewenstein, Thomas; Schlettwein, Derck
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

208

Textile und textilbasierte Elektrodensysteme - neue Möglichkeiten für sensorische und aktuatorische Applikationen

Autoren:
Rotsch, Christian; Oschatz, Heike; Neudeck, Andreas; Hanus, Sibylle; Gnewuch, Katharina; Zschenderlein, Dirk; Möhring, Uwe; Gimpel, Sabine
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

209

Thermodynamischer Neigungs- und Beschleunigungssensor Inclinos zur gleichzeitigen Erfassung der Lage und Beschleunigung im Raum

Autoren:
Junge, Stefan; Suft, Winfried; Gerlesberger, Peter; Salzberger, Frank; Plöchinger, Heinz; Plöchinger, Heinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

210

Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen Schichtsystemen

Autoren:
Weinberger, S.; Lukman, D.; Hoffmann, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

211

TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen

Autoren:
Gerken, Anna; Paul, Johannes; Negulescu, Beatrice; Duret, Christophe
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

212

Trends in der Aufbau- und Verbindungstechnik von Mikrosystemen

Autoren:
Wilde, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

213

Tubenfunktionsmessungen mit hochflexiblen Folien-DMS auf dem Trommelfell

Autoren:
Saß, Wiebke; Zehlicke, Thorsten; Moß, Christian; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

214

Ultra high Precision 3D Microprobe for CMM Applications

Autoren:
Bütefisch, S.; Dai, G.; Danzebrink, H.-U.; Brand, U.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

215

Ultradünner RF-ID-Chip in Chipfilm(TM)-Technologie

Autoren:
Scherjon, C.; Harendt, C.; Engelhardt, T.; Muñoz, P. Muñiz; Kothamasu, M.; Burghartz, J. N.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

216

Untersuchung der Aktivierungseffekte durch DBD bei Atmosphärendruck für das Tieftemperatur-Direktbonden

Autoren:
Michel, Benedikt; Eichler, Marko; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

217

Untersuchung eines Mikroplasmas für die Anwendung in einem Mikromassenspektrometer

Autoren:
Wong, R. Miguel Ramírez; Hauschild, J. P.; Wapelhorst, E.; Müller, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

218

Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und Prüfstandsversuch

Autoren:
Albers, Albert; Börsting, Peter; Deigendesch, Tobias; Enkler, Hans-Georg; Leslabay, Pablo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

219

Verfahren und System zur kontaktfreien und medienunabhängigen Volumenbestimmung in Dosierprozessen

Autoren:
Götz, Martin; Ashauer, Matthias; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

220

Verifizierung eines nichtlinearen Modells für einen gedämpften ohmschen HF-Schalter bei unterschiedlichen Druckbedingungen

Autoren:
Niessner, Martin; Schrag, Gabriele; Wachutka, Gerhard; Iannacci, Jacopo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009