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Energieautarke Mikrosysteme für automobile Anwendungen

Autoren:
Frey, Alexander; Li, Xiaoming; Hehn, Thorsten; Thewes, Marcell; Wagner, Dieter; Seidel, Julian; Schreiter, Matthias; Schienle, Meinrad; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos; Scholl, Gerd; Kühne, Ingo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

62

Energieautarker EDW-Sensor im Fahrzeug

Autoren:
Li, X.; Li, X.; Spreemann, D.; Hehn, T.; Kühne, I.; Thewes, M.; Frey, A.; Scholl, G.; Wagner, D.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

63

Energy Harvesting aus Vibrationsenergie: 3D-MEMS-Design und low-cost Verfahren zum Laden von Elektreten

Autoren:
Mescheder, Ulrich; Saad, Awad; Nimo, Antwi; Müller, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

64

Entwicklung einer energieeffizienten piezoelektrischen Hochfluss- Mikropumpe für Methanol-Brennstoffzellen

Autoren:
Herz, M.; Kibler, S.; Söllner, M.; Scheufele, B.; Richter, M.; Lueth, T. C.; Bock, K.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

65

Entwicklung einer neuen Verbindungstechnik für Smart Labels

Autoren:
Hemken, Gregor; Dilger, Klaus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

66

Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optisch transparente NEMS/MEMS Gehäuse mit niedrigem Temperatureintrag

Autoren:
Haubold, Marco; Schubert, Ina; Leidich, Stefan; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas; Geßner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

67

Entwicklung eines Arrays aus Mikronadelelektroden für biomedizinische Anwendungen

Autoren:
Röhler, S.; Held, J.; Nisch, W.; Kern, D. P.; Burkhardt, C.; Stett, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

68

Entwicklung eines Brennstoffzellenakkumulators zur Energieversorgung von autonomen Mikrosystemen

Autoren:
Zimmermann, Dominik; Zimmermann, Dominik; Becker, Jing; Müller, Claas; Reinecke, Holger
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

69

Entwicklung eines mechanisch hoch belastbaren Sensors für Rollkontaktbeanspruchung

Autoren:
Winkelmann, Cord; Woitschach, Ole; Meyer, Eva-Maria; Lang, Walter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

70

Entwicklung und Design von selbstatmenden Mikrobrennstoffzellen für autarke Sensoren mit pulsförmiger Last

Autoren:
Weiland, M.; Wagner, S.; Hahn, R.; Reichl, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

71

Entwicklung und Integration eines Hochratensputterprozesses für Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten

Autoren:
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Ortner, K.; Jung, T.; Jakob, A.; Tiefensee, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

72

Entwicklung von Dünnschichtsensoren mit kleiner Strukturbreite auf dünnen isolierenden Schichten

Autoren:
Schmaljohann, F.; Hagedorn, D.; Buß, A.; Kumme, R.; Löffler, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

73

Entwicklung von galvanisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperaturanwendungen

Autoren:
Teutsch, M.; Burns, D.; Bade, K.; Hemker, K. J.; Aktaa, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

74

Entwicklung von integrierten Mikrobatterien als Pufferspeicher - Li4Ti5O12 / LiMn2O4 Zellen mit organischem Gel-Elektrolyt

Autoren:
Marquardt, K.; Thunman, M.; Stolle, T.; Blechert, M.; Hahn, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

75

Entwicklung von kapazitiven Dehnungsmessstreifen in Dünnschichttechnologie für drahtlose, intelligente Systeme

Autoren:
Zeiser, R.; Jörger, T.; Fellner, T.; Wilde, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

76

Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger Sensormodulkonzepte

Autoren:
Goj, Boris; Dittrich, Lars; Dumstorff, Gerrit; Erbe, Torsten; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

77

Erarbeitung eines mobilen mikrosystemtechnischen Gesamtsystems für Anreicherung, Nachweis und Charakterisierung von zirkulierenden Tumorzellen - "MiNa-CTC"

Autoren:
Weber, Jörg; Clement, Joachim; Weber, Karina; Grimm, Volker; Hoyer, Olaf
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

78

Erster Prototyp eines Siliziumphotomultipliers im CiS

Autoren:
Long, L.; Brodersen, O.; Hiller, E.; John, W.; Ortlepp, H. G.; Preuß, D.; Röder, R.; Ziegler, S.; Schneider, F.; Pulko, J.; Renker, D.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

79

Erzeugung monodisperser Mikropartikel aus wässrigen Lösungen

Autoren:
Tropmann, Artur; Lass, Nils; Paust, Nils; Ziegler, Christoph; Zengerle, Roland; Koltay, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

80

Erzeugung von elektroaktiven Polymeraktoren mittels Inkjet Drop-on-Demand zur Anwendung in mikrofluidischen Systemen

Autoren:
Pabst, Oliver; Pabst, Oliver; Perelaer, Jolke; Beckert, Erik; Schubert, Ulrich S.; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Tünnermann, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011