121
Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors
Autoren:
Hoheisel, Dominik; Schultheis, Thanin; Schultheis, Thanin; Molella, Luca Spani; Reithmeier, Eduard; Reithmeier, Eduard; Rissing, Lutz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
122
Kostengünstige Fertigung großflächiger Druckköpfe durch Lamination von Trockenlacken auf vorstrukturierte Polymersubstrate
Autoren:
Kalkandjiev, Kiril; Gutzweiler, Ludwig; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
123
Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung flexibler Leiterplatten, RFID-Antennen und Biosensoren mittels Plasma Printing & Packaging Technologie
Autoren:
Borris, Jochen; Thomas, Michael; Dohse, Antje; Lachmann, Kristina; Hochsattel, Torsten; Weidlich, Ernst-Rudolf; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
124
Kostengünstiges zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem
Autoren:
Schwenck, A.; Kück, H.; Mayer, V.; Pojtinger, A.; Philipp, N.; Remer, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
125
Labor im Zentrifugenröhrchen zur dezentralen patientennahen Diagnostik (EasyTube)
Autoren:
Steigert, Juergen; Stetten, Felix von; Paust, Nils; Kloke, Arne; Lorenz, Michael; Beller, Klaus; Sakka, Samir G.; Detmers, Jan; Daub, Martina
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
126
Laser-Mikroschneiden von schrägen Durchkontaktierungen
Autoren:
Kagerer, Markus; Behlert, Regine; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
127
Lessons learnt - Erfahrungen bei der Entwicklung mit Elementen der Mikro- und Nanotechnologie
Autoren:
Herrnsdorf, Johannes
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
128
LIGA - Neues von Tiefenlithographie und Abformung
Autoren:
Schulz, Joachim; Lemke, Stephanie; Schulz, Joachim; Mohr, Juergen; Voigt, Anja; Walter, Marco; Worgull, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
129
Lokale Modifikation dielektrischer Eigenschaften von glaskeramischen Hochfrequenzsubstraten
Autoren:
Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
130
Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanen-ten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS
Autoren:
Nowack, Markus; Leidich, Stefan; Reuter, Danny; Kurth, Steffen; Küchler, Matthias; Bertz, Andreas; Gessner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
131
Magnetische Mikrosysteme in Industrie-, Automobil- und Raumfahrtanwendungen
Autoren:
Slatter, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
132
Magnetisches Nanoaktorsystem
Autoren:
Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Leiste, H.; Kohl, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
133
Magnetpartikel-basiertes Mikrosystem zum magnetoresistiven Schnellnachweis Sepsis-relevanter Pathogene
Autoren:
Sandetskaya, Natalia; Carstens, Cornelia; Gärtner, Claudia; Zilch, Christian; Lorenzen, Maren; Nachsel, Roman; Pötter, Harald; Kuhlmeier, Dirk
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
134
Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels für einen monolithisch-integrierten RF-MEMS Schalter
Autoren:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Kurth, S.; Erler, B.; Tillack, B.; Tillack, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
135
Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum-Dot- Lumineszenz
Autoren:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Kießling, Torsten; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Staudinger, Ulrike; Demir, Emrah; Pötschke, Petra; Voit, Brigitte
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
136
Mechanical Stress Measurements with the microDAC Stress Chip
Autoren:
Schindler-Saefkow, F.; Schindler-Saefkow, F.; Rose, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Wunderle, B.; Wunderle, B.; Michel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
137
Membran- und Cantileverherstellung mittels ICP-Kryo-Tiefenätzverfahren aus Silizium-Bulk-Material
Autoren:
Merzsch, S.; Wasisto, H. S.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
138
MEMS in Global Volume Markets - Opportunities and Risks
Autoren:
Finkbeiner, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
139
MEMS Strömungssensoren für die Notfallbeatmung
Autoren:
Hedrich, F.; Billat, S.; Storz, M.; Kattinger, G.; Dietz, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
140
Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an Siliziumsensoren
Autoren:
Strutzberg, H.; Geiler, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011