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121

Konzept und Fertigung von Komponenten eines ferrofluidischen Mikroaktors

Autoren:
Hoheisel, Dominik; Schultheis, Thanin; Schultheis, Thanin; Molella, Luca Spani; Reithmeier, Eduard; Reithmeier, Eduard; Rissing, Lutz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

122

Kostengünstige Fertigung großflächiger Druckköpfe durch Lamination von Trockenlacken auf vorstrukturierte Polymersubstrate

Autoren:
Kalkandjiev, Kiril; Gutzweiler, Ludwig; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

123

Kostengünstige und ressourceneffiziente Herstellung flexibler Leiterplatten, RFID-Antennen und Biosensoren mittels Plasma Printing & Packaging Technologie

Autoren:
Borris, Jochen; Thomas, Michael; Dohse, Antje; Lachmann, Kristina; Hochsattel, Torsten; Weidlich, Ernst-Rudolf; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

124

Kostengünstiges zweiachsiges hochgenaues Inklinometersystem

Autoren:
Schwenck, A.; Kück, H.; Mayer, V.; Pojtinger, A.; Philipp, N.; Remer, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

125

Labor im Zentrifugenröhrchen zur dezentralen patientennahen Diagnostik (EasyTube)

Autoren:
Steigert, Juergen; Stetten, Felix von; Paust, Nils; Kloke, Arne; Lorenz, Michael; Beller, Klaus; Sakka, Samir G.; Detmers, Jan; Daub, Martina
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

126

Laser-Mikroschneiden von schrägen Durchkontaktierungen

Autoren:
Kagerer, Markus; Behlert, Regine; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

127

Lessons learnt - Erfahrungen bei der Entwicklung mit Elementen der Mikro- und Nanotechnologie

Autoren:
Herrnsdorf, Johannes
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

128

LIGA - Neues von Tiefenlithographie und Abformung

Autoren:
Schulz, Joachim; Lemke, Stephanie; Schulz, Joachim; Mohr, Juergen; Voigt, Anja; Walter, Marco; Worgull, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

129

Lokale Modifikation dielektrischer Eigenschaften von glaskeramischen Hochfrequenzsubstraten

Autoren:
Bittner, Achim; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

130

Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanen-ten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS

Autoren:
Nowack, Markus; Leidich, Stefan; Reuter, Danny; Kurth, Steffen; Küchler, Matthias; Bertz, Andreas; Gessner, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

131

Magnetische Mikrosysteme in Industrie-, Automobil- und Raumfahrtanwendungen

Autoren:
Slatter, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

132

Magnetisches Nanoaktorsystem

Autoren:
Hartbaum, J.; Jakobs, P.; Leiste, H.; Kohl, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

133

Magnetpartikel-basiertes Mikrosystem zum magnetoresistiven Schnellnachweis Sepsis-relevanter Pathogene

Autoren:
Sandetskaya, Natalia; Carstens, Cornelia; Gärtner, Claudia; Zilch, Christian; Lorenzen, Maren; Nachsel, Roman; Pötter, Harald; Kuhlmeier, Dirk
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

134

Materialcharakterisierung eines komplexen Metallschichtstapels für einen monolithisch-integrierten RF-MEMS Schalter

Autoren:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Kurth, S.; Erler, B.; Tillack, B.; Tillack, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

135

Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum-Dot- Lumineszenz

Autoren:
Martin, Jörg; Piasta, Doreen; Kießling, Torsten; Otto, Thomas; Gessner, Thomas; Staudinger, Ulrike; Demir, Emrah; Pötschke, Petra; Voit, Brigitte
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

136

Mechanical Stress Measurements with the microDAC Stress Chip

Autoren:
Schindler-Saefkow, F.; Schindler-Saefkow, F.; Rose, F.; Otto, A.; Rzepka, S.; Wunderle, B.; Wunderle, B.; Michel, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

137

Membran- und Cantileverherstellung mittels ICP-Kryo-Tiefenätzverfahren aus Silizium-Bulk-Material

Autoren:
Merzsch, S.; Wasisto, H. S.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

138

MEMS in Global Volume Markets - Opportunities and Risks

Autoren:
Finkbeiner, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

139

MEMS Strömungssensoren für die Notfallbeatmung

Autoren:
Hedrich, F.; Billat, S.; Storz, M.; Kattinger, G.; Dietz, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

140

Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an Siliziumsensoren

Autoren:
Strutzberg, H.; Geiler, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011