1
Topological microfluidic structures for rapid mixing of emulsions
Autoren:
Land, K. J.; Mbanjwa, M. M.; Korvink, J. G.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMS
Autoren:
Hofmann, Lutz; Baum, Mario; Schulz, Stefan. E.; Wiemer, Maik; Geßner, Thomas
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Ultradünne Siliziumchips in flexiblen Mikrosystemen
Autoren:
Wolf, J.; Berschauer, K.; Gneiting, T.; Harendt, C.; Kostelnik, J.; Kugler, A.; Lorenz, E.; Rempp, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Untersuchung der thermo-mechanischen Eigenschaften von bleifreien Hochtemperatur-Lötverbindungen aus Verbundwerkstoffen
Autoren:
Seehase, D.; Bremerkamp, F.; Novikov, A.; Nowottnick, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Untersuchung des Bucklingeffektes an mittels gesputtertem Wolfram vorgespannten Siliziummembranen für Mikroaktorikanwendungen
Autoren:
Kirsch, C.; Feili, D.; Schmid, U.; Balck, A.; Leester-Schädel, M.; Büttgenbach, S.; Seidel, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Untersuchung des Temperatureinflusses auf den spezifischen elektrischen Widerstand von nanokristallinem Nickel und röntgenamorphem Nickel-Phosphor
Autoren:
Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.; Weiland, A.; Seekamp, J.; Böhm, G.; Schäfer, W.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Variation des intrinsischen Stressgradienten dünner Aluminiumnitridschichten
Autoren:
Mehner, H.; Leopold, S.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Verbesserter Herstellungsprozess für dreidimensionale mikromechanische Sensoren aus SU-8-Fotoresist
Autoren:
Oerke, Alexa; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Vereinzelung von Chips mit komplexen Formen unter Verwendung von Parafilm(exp TM)
Autoren:
Sun, Shen-Huei; Graf, Heinz-Gerd; Sailer, Holger; Burghartz, Joachim; Schröder, Sven; Thewes, Roland
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Verformungsmessung von Mikrosystemen bei hohen Temperaturen mit ESPI, DIC und Holographie
Autoren:
Zeiser, Roderich; Steiert, Matthias; Berndt, Michael; Wilde, Jürgen; Beckmann, Tobias; Fratz, Markus
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Verkapselungstechniken für implantierbare integrierte MEMSDrucksensoren
Autoren:
Görtz, M.; Betz, W.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kraft, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen
Autoren:
Riekeberg, S.; Trieu, H. K.; Müller, J.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Virtuelles Design nano- und mikroporöser Materialien für Energieanwendungen
Autoren:
Thiele, S.; Erben, J.; Hutzenlaub, T.; Zengerle, R.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Vom Sattel bis zur Sphäre: Piezobiegeaktoren mit variabler Oberflächenkrümmung
Autoren:
Stürmer, Moritz; Wapler, Matthias C.; Brunne, Jens; Wallrabe, Ulrike
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Wasser-lösliche Opferschicht ermöglicht die low-cost Herstellung von Mikrospulen mit einem Füllgrad von 100 %
Autoren:
Gruschke, O. G.; Kamberger, R.; Ho¨fflin, J.; Korvink, J. G.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Wire bonder made on-chip microtransformers for very high frequency (VHF) regime applications
Autoren:
Moazenzadeh, A.; Spengler, N.; Korvink, J. G.; Wallrabe, U.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Wirkungsgrade, Charakterisierung und Alterung indoorphotovoltaischer Wandler
Autoren:
Freunek, M.; Reindl, L. M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Zentrifugo-thermopneumatisches Aliquotieren auf der LabDisk und Anwendung zum DNA-basierten Nachweis verschiedener Bakterien
Autoren:
Keller, M.; Focke, M.; Strohmeier, O.; Reith, P.; Roth, G.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen