1
Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWs
Autoren:
Schneider, Michael; Weißenbach, Josef; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
2
Einsatz von MEMS basierten Infrarot-Emittern für hochempfindliche Multigasanalysesysteme
Autoren:
Oldorf, Carsten; Dunkelmann, Swen; Guderjahn, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
3
Einstieg in ein akustisches Tomographiesystem zur Bestimmung des Gasgehaltes
Autoren:
Elfering, Michael; Borgmann, Dennis; Czajka, Holger; Jantzen, Hans-Arno; Annas, Sven; Janoske, Uwe
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
4
Elektrische Kontaktierung bauteilinhärenter Dehnungsmesssensorik mithilfe des Transient Liquid Phase (TLP) Bonding
Autoren:
Ottermann, Rico; Knöpke, Rolf; Wurz, Marc Christopher
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
5
Elektrochemische Atomlagenabscheidung von Kupfer-Nanoschichten zur Herstellung von Nanospaltelektroden in Mikrosensoren
Autoren:
Dornhof, Johannes; Urban, Gerald A.; Kieninger, Jochen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
6
Elektrooptische Systemintegration für optische Chip-to-Chip-Kurzstreckenverbindungen
Autoren:
Nieweglowski, Krzysztof; Lorenz, Lukas; Tiedje, Tobias; Lüngen, Sebastian; Bock, Karlheinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
7
Energieeffiziente, miniaturisierte magnetische Sensoren für Industrie 4.0 auf Basis des Tunnel-Magnetoresistive-Effekts
Autoren:
Slatter, Rolf
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
8
Entwicklung einer Feldemitter-basierten Vakuumelektronenquelle für Ionisationsmanometer in kryogenen XHV Umgebungen
Autoren:
Bieker, Johannes; Wick, Konja; Schlaak, Helmut F.; Wilfert, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
9
Entwicklung einer integrierten mikroelektromechanischen Pumpe für mobile Anwendungen
Autoren:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10
Entwicklung einer Scherkraftmessung zur qualitativen Analyse und Optimierung von Wafer Bonding Prozessen
Autoren:
Krüger, Patrick; Wietstruck, Matthias; Kissinger, Gudrun; Lisker, Marco; Krüger, Andreas; Döhler, Torsten; Schäffner, Jan; Silz, Heike; Geißler, Ute; Kaynak, Mehmet
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
11
Entwicklung einer skalierbaren Schaltmatrix für Nanokompositsenoren
Autoren:
Kilian, Wolfgang; Tautkus, Jessica; Tautenhahn, Kevin; Kanoun, Olfa; Heinkel, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
12
Entwicklung eines BIOMEMS-Sensors für die Vor-Ort-Diagnose auf Basis der Detektion von Frequenzverschiebungen der Biegewellen von funktionalisierten Membranen
Autoren:
Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
13
Entwicklung eines MIMO-Radarfrontends auf Glasinterposer Basis fürs autonome Fahren
Autoren:
Tschoban, Christian; Fritsche, Carola; Böttcher, Matthias; Steller, Wolfram; Ndip, Ivan; Pötter, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
14
Entwicklung eines mobilen Nachweissystems im Handheld-Format zur quantitativen Bestimmung von vicinalen Diketonen aus Jungbier
Autoren:
Tritz, Florian; Scherag, Frank D.; Brandstetter, Thomas; Rühe, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
15
Entwicklung eines Multisensorsystems zur Zustandsüberwachung und Crasherkennung von Werkzeugmaschinen mit rotierenden Spindeln
Autoren:
Meinecke, Christoph; Clauß, Benjamin; Albers, Jonas; Höller, Heinrich; Streit, Petra; Forke, Roman; Weidlich, Sebastian; Dittrich, Claus; Stritzke, Burkhard; Schubert, Andreas; Hiller, Karla; Reuter, Danny
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
16
Entwicklung eines neuartigen, quantitativen Adhäsionsmessverfahren für Dünnfilmlagen in der Mikroelektronik
Autoren:
Wöhrmann, Markus; Töpper, Michael; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
17
Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Siliziumatom-Einzellagen mittels Atomlagenätzen
Autoren:
Dittmar, Nils; Küchler, Matthias; Meinecke, Christoph; Reuter, Danny; Otto, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
18
Entwicklung und Charakterisierung eines triboelektrischen Nanogenerators
Autoren:
Stork, David; Löffler, Jannek; Schierle, Stefan; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
19
Entwicklung von Keramik-Polymer-Kompositen mit verstärkten mechanischen Eigenschaften für den 3D-Tintenstrahldruck
Autoren:
Qazzazie, Afnan; Graf, Dennis; Hanemann, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
20
Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren
Autoren:
Voigt, Sebastian; Freitag, Markus; Krishna, Varsha; Hahn, Susann; Hiller, Karla; Mehner, Jan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress