1
Erweiterung des Anwendungsbereiches von Siliziumdehnungssensoren durch Montageträger
Autoren:
Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Grün, Andre; Kermann, Manuel; Jagomast, Stefan; Maier, Christian; Ortlepp, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
2
Experimentelle Untersuchung der effektiven Sensorparameter für neuartige ko-resonante Cantilever-Sensoren
Autoren:
Körner, Julia
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
3
Fabrication of a microfluidic system with columnar structures using DRIE for blood brain barrier applications
Autoren:
Sittkus, Benjamin; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
4
Federdesign eines integrierten, elektrostatisch aktuierbaren Ventils hergestellt mittels 2-Photonen Polymerisation
Autoren:
Reede, Sina; Bunge, Frank; Oellers, Martin; Vellekoop, Michael J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
5
FEM Modeling of Microbolometer Structures
Autoren:
Kaynak, Canan Baristiran; Goeritz, Alexander; Yamamoto, Yuji; Trusch, Andreas; Stocchi, Matteo; Wietstruck, Matthias; Unal, Kadir Ere; Ozdemir, Mehmet Bora; Ozsoy, Yusuf; Gurbuz, Yasar; Kaynak, Mehmet
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
6
FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasen-schiebers
Autoren:
Ashour, Mohamed; Weig, Eva; Caspers, Jan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
7
Fertigung und Charakterisierung von in Leiterplatten integrierten Mikrotransformatoren
Autoren:
Fischer, Eike C.; Cromwell, Kevin; Wurz, Marc Christopher
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
8
Fertigungstechnologie zur Herstellung von Silizium basierten MEMS-Schaltern
Autoren:
Schwarz, Markus; Lambrecht, Franziska; Seidel, Helmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
9
Fertigungsverfahren für mikrofluidische Strukturen aus PDMS am Beispiel eines Durchfluss-Thermocyclers
Autoren:
Hapke, Vanessa; Schlüter, Michael; Pollich, Ludwig; Brommert, Janine
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10
Flexible Foliensysteme für Industrie 4.0
Autoren:
Harendt, Christine; Schreivogel, Alina; Albrecht, Björn; Deuble, Thomas; Elsobky, Mourad; Ferwana, Saleh; Kostelnik, Jan; Burghartz, Joachim
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
11
Flexibles, μLED-basiertes Implantat mit integrierten μ-Linsen und konischen Konzentratoren für optimierte Lichtausbeute
Autoren:
Klein, Eric; Kaku, Yumi; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
12
Flip-Chip-Montage zum Aufbau von Differenzdrucksensoren
Autoren:
Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Wünscher, H.; Grün, Andre; Jagomast, S.; Maier, Christian; Völlmeke, Stefan; Herbst, S.; Ortlepp, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
13
Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices
Autoren:
Boettger, Simon; Bonitz, Jens; Al-Falahi, Falah; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
14
Ganzheitliche Entwurfsmethodik für kompakte HF-MEMS-Oszillatoren auf einem SiCer-Verbundsubstrat
Autoren:
Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp. Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
15
Glas-Chips zur Messung der Wärmeleitfähigkeit
Autoren:
Grosse, Corinna; Abo Ras, Mohamad; May, Daniel; Wöhrmann, Markus; Bader, Volker; Bauer, Jörg; Wunderle, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
16
Glassomer – Quarzglas wie einen Kunststoff formen
Autoren:
Kotz, Frederik; Striegel, Andreas; Risch, Patrick; Worgull, Matthias; Helmer, Dorothea; Rapp, Bastian E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
17
Graphen-Elektroden für den Einsatz in Metalloxid-Dünnfilmtransistoren
Autoren:
Bock, Claudia; Subaşi, Ersoy; Berning, Thomas; Pham, Duy Vu; Kunze, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
18
HBM and ASIC silicon interposer
Autoren:
Puschmann, Rene; Heinig, Andy
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
19
Herstellung extrem kleiner Batterien mit Dünnwafer-Bondprozessen
Autoren:
Hahn, Robert; Hoeppner, Katrin; Ferch, Marc; Zoschke, Kai; Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
20
Herstellung nano-skalierter Gassensoren unter Verwendung neuer Metalloxid-ALD-Precursormaterialien
Autoren:
Knauß, Anna M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Mai, Lukas; Devi, Anjana
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress