1
Numerical Investigation of Anodic Bonding for Stress Sensitive MEMS Device
Autoren:
Hu, Xiaodong; Schiffer, Michael; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
2
Numerische und experimentelle Betrachtung des Molded Underfills
Autoren:
Paetsch, Melanie B.; Nguyen, Thanh Duy; Dreissigacker, Marc; Bauer, Jörg; Hölck, Ole; Bader, Volker; Braun, Tanja; Zühlke, Jasmin; Minkus, Mathias; Voges, Steve; Becker, Karl-Friedrich; Wöhrmann, Markus; Lang, Klaus-Dieter; Schubert, Dirk; Schneider-Ramelow, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
3
On-chip Mikroringresonator Transducer für die Messung optischer und optofluidischer Sensoren
Autoren:
Lipka, Timo; Trieu, Khiem
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
4
Optimierung eines Biegeplattenwellensensors für hohe Eindringtiefe und Sensitivität
Autoren:
Thewes, Anna C.; Weigel, Christoph; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
5
Optimierung eines nanofluidischen Beugungsgitters zur Detektion von spezifischen Biomolekülen
Autoren:
Purr, Foelke; Burg, Thomas P.; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
6
Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen
Autoren:
Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Ehrig, Lutz; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
7
Optische Mikrosysteme für verbesserte Bildgebung in der Biomedizin
Autoren:
Scholles, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
8
Passive fluid transport by cryogel filled capillaries for the realization of POC assays
Autoren:
Fosso, Patrick; Zinggeler, M.; Brandstetter, T.; Ruehe, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
9
Piezoelectric MEMS Sensors for the Detection of Weak Magnetic Signals with Adjustable Resonance
Autoren:
Su, Jingxiang; Niekiel, Florian; Fichtner, Simon; Kirchhof, Christine; Meyners, Dirk; Quandt, Eckhard; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
10
Piezoelektrisch angetriebene Silizium Mikropumpe der Baugröße 3,5 x 3,5 x 0,6 mm3
Autoren:
Richter, Martin; Leistner, Henry; Congar, Yuecel; Drost, Andreas; Kibler, Sebastian; Röhl, Siegfried; Wackerle, Martin
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
11
Piezoelektrische MEMS-Drucksensorarrays zur oberflächenbündigen Messung aerodynamischer Fluktuationen in der Grenzschicht
Autoren:
Stopp, Michael; Britz, Alexander; Bauer, Karin; Seidel, Helmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
12
Piezoelektrische MEMS-Lautsprecher für In-Ear-Anwendungen
Autoren:
Stoppel, Fabian; Männchen, Andreas; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Giese, Thorsten; Pieper, Isa; Kaden, Dirk; Grünzig, Sven; Wagner, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
13
Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid
Autoren:
Meinel, Katja; Stoeckel, Chris; Melzer, Marcel; Zimmermann, Sven; Forke, Roman; Hiller, Karla; Otto, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
14
Piezoresistive Microcantilever for Gravimetric Particulate Matter Monitoring
Autoren:
Bertke, Maik; Xu, Jiushuai; Setiono, Andi; Peiner, Erwin; Kirsch, Ina; Uhde, Erik
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
15
Plattformkonzept zum Aufbau von hochintegrierten Multisensorknoten
Autoren:
Becker, Karl-Friedrich; Böttcher, Mathias; Schiffer, Michael; Pötter, Harald; Brockmann, Carsten; Freimund, Damian; Tschoban, Christian; Windrich, Frank; Braun, Tanja; Hopsch, Fabian; Heinig, Andy; Voigt, Sven; Baum, Mario; Hofmann, Lutz; Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
16
PMMA Filled Through-Silicon Vias (TSVs) and Back Etch Process Controlled by Plasma Emission Interferometry
Autoren:
Villasmunta, Francesco; Steglich, Patrick; Mai, Christian; Heinrich, Friedhelm; Ksianzou, Viachaslau; Schrader, Sigurd; Mai, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
17
Pneumatischer Low-Cost-Mikroaktor auf Basis einer elastischen Membran, hergestellt durch Dipping
Autoren:
Gursky, Benjamin; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
18
Polymerbasierter wellenleiterintegrierter DFB Laser
Autoren:
Becker, Jing; Čehovski, Marko; Caspary, Reinhard; Johannes, Hans-Hermann; Kowalsky, Wolfgang; Müller, Claas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
19
Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range
Autoren:
Keshavarzi, Shervin; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress
20
Prozess „EPyC“ und Anwendungsmöglichkeiten für komplexe 3D MEMS Strukturen in reinem Silizium
Autoren:
Majoni, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2019 - Kongress