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1

Redoxpolymer-basierte Enzymelektroden für Biobrennstoffzellen und Biosensoren

Authors:
Bunte, C.; Prucker, O.; Rühe, J.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

2

Robotergestütztes Mess- und Handlingsystem für Qualitätsmessungen an Mikroteilen

Authors:
Battenberg, Günther; Kremper, Alexander
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

3

Robustness Validation for MEMS

Authors:
Jäger, B.; Kanert, W.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

4

Routing-Protokoll für komplexe energieautarke Funknetze

Authors:
Schmidt, F.; Heller, W.; Rahusen, D.; Sikora, A.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

5

Schaltung zur effektiven Nutzung der Energie aus piezoelektrischen Quellen

Authors:
Menacher, M.; Schwesinger, Norbert
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

6

Schichtdickenmessungen an ultradicken Mehrschicht-Mikrostrukturen

Authors:
Engelke, R.; Richter, U.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

7

Schnelle Mischung in Mikrofluidsegmenten für die Herstellung binärer Metall-Nanopartikel mit enger Größenverteilung

Authors:
Knauer, Andrea; Steinfeld, Norbert; Romanus, Henry; Köhler, J. Michael
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

8

Segmentierte Prozessführung in mikrofluidischen Bauteilen

Authors:
Boskovic, Dusan; Mendl, Alexander; Türcke, Tobias; Schwarzer, Maud; Röseling, Dirk; Löbbecke, Stefan
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

9

Selbstorganisierte Chipmontage

Authors:
Boufercha, Nourdin; Schurz, Michael; Sägebarth, Joachim; Sandmaier, Hermann
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

10

Selbstorganisierte Nanostrukturen in Kieselglas für neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMS

Authors:
Lilienthal, Katharina; Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

11

Senkerosion von Mikrostrukturen in gesintertem, elektrisch isolierendem ZrO2

Authors:
Hösel, T.; Müller, C.; Reinecke, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

12

Silizium basier te O2-FET Biosensoren für die zellulär e Diagnostik Silicon-based O2-FET biosensor s for cellular diagnostics

Authors:
Eminaga, Yazay; Wiest, Joachim; Brischwein, Martin; Grothe, Helmut; Wolf, Bernhard; Wolf, Bernhard
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

13

Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im Schaltungssimulator

Authors:
Vogt, Holger; Vogt, Hendrik
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

14

Solare Wasserstoffgewinnung für Mikrobrennstoffzellen

Authors:
Bretthauer, C.; Domke, J.; Müller, C.; Reinecke, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

15

Solid-Liquid-Interdiffusion Bonding für 3D-Integration und Wafer-Level-Packaging

Authors:
Baum, M.; Hofmann, L.; Wiem, M.; Geßner, T.; Geßner, T.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

16

StarJet: Pneumatische Erzeugung von Nano- bis Picoliter Tropfen flüssigen Lötzinns in einer sternförmigen Düse

Authors:
Metz, Tobias; Metz, Tobias; Birkle, Gerhard; Birkle, Gerhard; Ziegler, Christoph; Ziegler, Christoph; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

17

Stirnwellen in Kavitäten von mikrostrukturierten Plasmastempeln

Authors:
Ermel, Vladimir; Kurrat, Michael
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

18

Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures

Authors:
Schneider, A.; Rank, H.; Müller-Fiedler, R.; Wittler, O.; Reichl, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

19

Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures

Authors:
Schneider, A.; Rank, H.; Müller-Fiedler, R.; Wittler, O.; Reichl, H.
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

20

Stress Measurement with High Spatial Resolution on microsystem components

Authors:
Vogel, Dietmar; Michel, Bernd; Gollhardt, Astrid
Conference:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009