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1

Diodenlaser basierte Mikrosystemlichtquellen für die in-situ Raman-Spektroskopie

Autoren:
Maiwald, Martin; Sumpf, Bernd; Erbert, Götz; Tränkle, Günther
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

2

Direkt-Methanol-Mikrobrennstoffzellen mit mikrostrukturierten Stromkollektorfolien

Autoren:
Krumbholz, S.; Wagner, S.; Al-Karagoly, O.; Hahn, R.; Reichl, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

3

Dosiersystem zur kontaminationsfreien Handhabung von Flüssigkeiten

Autoren:
Fritz, K.-P.; Grözinger, T.; Kück, H.; Kück, H.; Mayer, V.; Mohr, R.; Schober, M.; Wolter, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

4

Drahtloses Auswertesystem für kapazitive Sensoren

Autoren:
Nopper, Reinhard; Niekrawietz, Remigius; Reindl, Leonhard Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

5

Dreidimensionale Hallsensorik für die Anwendung im Kfz

Autoren:
Köhler, Ulrich; Lorenz, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

6

Druckbeständige thermoelektrische Strömungssensoren mittels Membranperforation

Autoren:
Kropp, M.; Kutzner, C.; Hartgenbusch, N.; Gu, S.; Sosna, C.; Buchner, R.; Hauptmann, P.; Lang, W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

7

Drucken von funktionalen Strukturen auf polymerbasierten mikromechatronischen 3D-Packages

Autoren:
Willeck, H.; Keck, J.; Eberhardt, W.; Polzinger, B.; Kück, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

8

Drucken von funktionalen Strukturen auf polymerbasierten mikromechatronischen 3D-Packages

Autoren:
Willeck, H.; Keck, J.; Eberhardt, W.; Polzinger, B.; Kück, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

9

Druckverfahren für Rapid Prototyping Prozesse

Autoren:
Kain, A.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

10

Druckverfahren zur Herstellung elektrochemischer Energiespeicher

Autoren:
Willert, Andreas; Geyer, Ulrike; Kreutzer, André; Baumann, Reinhard R.; Baumann, Reinhard R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

11

Dünnfilmtechnische Herstellung eines rotierenden Synchronmotors

Autoren:
Pape, F.; Creutzburg, T.; Traisigkhachol, O.; Gatzen, H. H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

12

Dünnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen Temperaturen

Autoren:
Biehl, Saskia; Hauschild, Frank; Wolf, Lisa
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

13

Dünnschichtsensorik zur Prozessüberwachung in Stanzprozessen

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian; Weber, Martin; Woitschach, Ole; Kräusel, Verena; Mintenbeck, Dieter; Merz, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

14

EasyKit – Entwicklungsmethodik für den Entwurf mikromechatronischer Systeme

Autoren:
Bauer, G.; Pittschellis, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

15

Ein Mikromassenspektrometer mit integrierter Mikrokanalplatte

Autoren:
Reinhardt, Maria; Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

16

Einfluss der Abscheideparameter auf die Mikrostruktur von Silberdünnfilmen auf LTCC

Autoren:
Bittner, A.; Klein, S.; Seidel, H.; Schwanke, D.; Schmid, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

17

Einfluss der Sputterparameter auf Morphologie, Phasenbildung und elektrische Eigenschaften von dünnen Tantalschichten

Autoren:
Grosser, M.; Seidel, H.; Schmid, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

18

Einfluss von Nanokompositen auf die Zuverlässigkeit und die mechanischen Eigenschaften von Feuchtesensoren

Autoren:
Hammacher, Jens; Saettler, Peter; Kreyssig, Kerstin; Martin, Jörg; Seiler, Bettina; Michel, Bernd
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

19

Electrostatic Voltage Sensor Based on a High Aspect-Ratio Copper Actuator Levitating over a Small Air Gap

Autoren:
Dittmer, Jan; Dittmer, Jan; Brennecke, Alexander; Hecht, Lars; Judaschke, Rolf; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

20

Electrothermal, Easily Handled Silicon Micro Gripper

Autoren:
Hoxhold, Björn; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009