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141

Mikrotechnischer Strömungssensor - für den Einsatz in rauer Umgebung

Autoren:
Ashauer, M.; Billat, S.; Ashauer, H.; Lust, L.; Storz, M.; Kattinger, G.; Hedrich, F.; Zengerle, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

142

Mikroviskosimeter zur kontinuierlichen Glucosemessung bei Diabetes mellitus

Autoren:
Birkholz, M.; Ehwald, K.-E.; Ehwald, R.; Kaynak, M.; Borngräber, J.; Drews, J.; Haak, U.; Klatt, J.; Matthus, E.; Schoof, G.; Schulz, K.; Tillack, B.; Winkler, W.; Wolansky, D.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

143

Modellierung, Optimierung und experimentelle Verifizierung piezoelektrischer Biegeaktoren für Mikropumpen

Autoren:
Herz, M.; Horsch, D.; Lueth, T.; Richter, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

144

MST am Herz: Implantierbarer Sensor zur Bestimmung wichtiger Parameter zur Diagnose und Therapie von Herzinsuffizienz (COMPASS)

Autoren:
Bode, Sven; Trieu, Hoc-Khiem; Traulsen, Tim; Mokwa, Wilfried; Schmitz-Rode, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

145

MST im Gehirn: Neuroprothese für die Epilepsiediagnose und -therapie

Autoren:
Stett, Alfred; Boven, Karl-Heinz; Bucher, Volker; Gharabaghi, Alireza; Kern, Dieter; Wrobel, Walter-G.; Mattmüller, Rudi
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

146

Multi Axial Force Sensor for Coordinate Measuring Machine

Autoren:
Tibrewala, A.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

147

Nanomembranes – a link between MEMS and NEMS

Autoren:
Matovic, Jovan; Adamovic, Nadja; Schmidt, Ulrich; Jakšic, Zoran
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

148

Nanopositionier- und Nanomessmaschinen – universelle skalenübergreifende Werkzeuge von Makro bis Nano

Autoren:
Theska, René; Manske, Eberhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

149

Nanoprägen in Polymerfolien als Fertigungsverfahren für fluidische Mikro-Nano-Systeme

Autoren:
Schleunitz, Arne; Senn, Tobias; Löchel, Bernd; Datta, Proyag; Göttert, Jost; Giselbrecht, Stefan; Reinhardt, Martina
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

150

Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration

Autoren:
Mescheder, U. M.; Kovacs, A.; Jonnalagadda, P.; Nimo, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

151

Neue Konzepte der Aufbau- und Verbindungstechnik mikrooptischer Systeme

Autoren:
Eberhardt, R.; Beckert, E.; Burkhardt, T.; Burkhardt, T.; Mohaupt, M.; Bruchmann, C.; Bruchmann, C.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

152

Neue Methode zur Kontaktierung isolierter Mikrodrähte

Autoren:
Meiß, Thorsten; Roßner, Tim; Minamisava, Carlos; Werthschützky, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

153

Neue Wege – Kontaktierung von Lichtwellenleitern mittels Drahtbonden

Autoren:
Schmitz, Stefan; Oppermann, Hermann; Schröder, Henning; Reichl, Herbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

154

New SiC Pressure-Sensor-Technologies for Harsh Environments

Autoren:
Behnel, N.; Fuchs, T.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

155

Nicht-invasive Signaltransduktion mit Sensorbeads für das toxikologische Screening in der Mikrofluidsegment-Technik

Autoren:
Cao, J.; Funfak, A.; Schneider, S.; Wolfbeis, O. S.; Martin, K.; Köhler, J. M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

156

Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Nanokomposite als Sensorschichten für die Kraft- und Drucksensorik

Autoren:
Koppert, R.; Göttel, D.; Probst, A.-C.; Freitag-Weber, O.; Schultes, G.; Werner, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

157

Normal-geschlossene Mikropumpe mit fluidischem Einwegchip und wiederverwendbarer Aktoreinheit

Autoren:
Trenkle, Fabian; Haeberle, Stefan; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

158

On-Chip PCR – Technologien und Anwendungen

Autoren:
Heinrich, E.; Julich, S.; Bähring, F.; Kielpinski, M.; Urban, M.; Henkel, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

159

Optimierte digitale Ansteuerung eines CMOS-basierten Chiparrays zur DNA-Detektion

Autoren:
Kuehne, I.; Kruppa, P.; Frey, A.; Schienle, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

160

Optimierung der Ansteuerung des SIS-Massenseparators im planar integrierten Mikro-Massenspektrometer

Autoren:
Quiring, Grigoriy; Hauschild, Jan-Peter; Wapelhorst, Eric; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009