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1

"Glas Gras" in Kieselglas für neue Integrationsmöglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS

Autoren:
Lilienthal, Katharina; Stubenrauch, Mike; Fischer, Michael; Schober, Andreas
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

2

AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE

Autoren:
Sökmen, Ü.; Waag, A.; Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.; Peiner, E.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

3

Aluminiumnitrid Dünnschicht-Membranen - Nanokristalline Materialstruktur als Basis hoher mechanischer Stabilität

Autoren:
Polster, T.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

4

Automatisierte nanorobotische Mikro-Nano-Integration zur Herstellung prototypischer Mikrosysteme mit Nanostrukturen

Autoren:
Eichhorn, V.; Jasper, D.; Dahmen, C.; Fatikow, S.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

5

Biologische und physikalische Oberflächenprogrammierung für die Selbstassemblierung von kleinen Objekten

Autoren:
Alberti, Martin; Yacoub-George, Erwin; Landesberger, Christof; Scherbaum, Sabine; Hell, Waltraud; Bock, Karlheinz
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

6

Biomembran-Brennstoffzelle auf Basis modifizierter Kohlenstoff Nanoröhrchen

Autoren:
Bogner, M.; Schnaithmann, M.; Sägebarth, J.; Sandmaier, H.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

7

Bondverfahren für Selbstjustierung und Mehrfachbonden basierend auf nasschemisch präparierten Si-Oberflächen

Autoren:
Jonnalagadda, P.; Mescheder, U.; Kovacs, A.; Nimo, A.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

8

CNTs - a Comparable Study of CNT-filled Adhesives with Common Materials

Autoren:
Heimann, Matthias; Boehme, Bjoern; Scheffler, Sebastian; Wirts-Ruetters, Martin; Wolter, Klaus-Juergen
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

9

Contactless Handling and Precision Positioning of Smallest Components for Assembly of Microelectronics

Autoren:
Braun, T.; Bauer, J.; Becker, K.-F.; Kahle, R.; Jung, E.; Koch, M.; Mollath, G.; Aschenbrenner, R.; Reichl, H.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

10

Direct UV-nanoimprint of polymer microring resonators as optical transducers

Autoren:
Kirchner, Robert; Kirchner, Robert; Landgraf, René; Landgraf, René; Bertram, Marion; Fischer, Wolf-Joachim; Fischer, Wolf-Joachim
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

11

Drucken von mikro- und nanoskaligen Funktionsschichten auf Thermoplasten zur Erhöhung der Integration mikrosystemtechnischer Packages

Autoren:
Eberhardt, W.; Keck, J.; Willeck, H.; Polzinger, B.; Kück, H.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

12

Einsatz von nanokristallinem Aluminiumnitrid (AlN) in mikrosystemtechnischen Aktorkonzepten

Autoren:
Leopold, Steffen; Polster, Tobias; Pätz, Daniel; Hoffmann, Martin
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

13

Facilitating Innovation in Advanced Multimaterial Micro and Nanotechnologies

Autoren:
Obermaier, Georg
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

14

Großflächige Integration von ZnO-Nanopartikel-Transistoren

Autoren:
Wolff, Karsten; Hilleringmann, Ulrich; Hilleringmann, Ulrich
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

15

Hochauflösende Metrologie für die Mikro-Nanointegration

Autoren:
Krause, Michael; Klengel, Robert; Cismak, Andreas; Petzold, Matthias; Altmann, Frank
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

16

Hochgenaue Positionsbestimmung und Topologievermessung

Autoren:
Petter, Jürgen; Nicolaus, Ralf; Wienke, Olaf
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

17

Hochtemperaturtaugliche Chip-Substrat-Kontaktierung opto-elektronischer Bauelemente mittels Fineplacer-Verbindungstechnik (FpV)

Autoren:
Kähler, Julian; Stranz, Andrej; Heuck, Nicolas; Fündling, Sönke; Palm, Gerhard; Waag, Andreas; Peiner, Erwin
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

18

Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik

Autoren:
Quednau, S.; Greiner, F.; Schlaak, H. F.; Rauber, M.; Rauber, M.; Neumann, R.; Ensinger, W.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

19

Messung von thermoelektrischen Eigenschaften an Silizium-basierten Nanosäulen

Autoren:
Stranz, A.; Sökmen, Ü.; Kähler, J.; Peiner, E.; Waag, A.
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops

20

Mikroelektroden - Theorie und Praxis

Autoren:
Pliquett, Uwe; Nacke, Thomas; Barthel, Andreas; Frense, Dieter; Beckmann, Dieter
Konferenz:
Mikro-Nano-Integration - 2. GMM-Workshops