1
Piston-Effekt freier Mikrodrehspiegel für Laserinterferometrie in SOI Technologie
Autoren:
Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Nimo, Antwi
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
2
Polymerbasierte neuronale Mikroelektrode mit integriertem Lichtwellenleiter
Autoren:
Rubehn, Birthe; Stieglitz, Thomas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
3
Positionserfassung von flexiblen Roboterarmen mit einem optischen Mikrotrackersystem
Autoren:
Weinberger, Stefan; Markweg, Eric; Nguyen, Tran Trung; Hoffmann, Martin; Ament, Christoph
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
4
Produktionsbegleitende Prozesskontrolle und Qualitätssicherung für die Sensorchip-Fertigung in mittleren und hohen Volumen: Konzepte und Beispiele
Autoren:
Doms, Marco; Schug, Christoph
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
5
Querschnittslähmungsimplantat QLIMP
Autoren:
Voß, Christian; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
6
Raman-aktiviertes Zellsortieren zur Identifikation von Tumorzellen
Autoren:
Dochow, S.; Krafft, C.; Neugebauer, U.; Freitag, I.; Henkel, T.; Popp, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
7
Realisierung eines integrierten mikro-optischen Fluoreszenzdetektors
Autoren:
Grewe, A.; Amberg, M.; Stoebenau, S.; Sinzinger, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
8
Realization of nonlinear hardening springs with predefined characteristic for vibration transducers based on beam structures
Autoren:
Spreemann, D.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
9
Ressourceneffizienz am Beispiel magnetoresistiver Sensoren
Autoren:
Paul, Johannes; Lehndorff, Ronald; Duret, Christophe
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
10
Schneller und kostengünstiger Herstellprozess eines Messing-Abformwerkzeugs für das Mikroheißprägen
Autoren:
Kögler, Daniela; Kaese, Wolfgang; Strobelt, Tilo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
11
Senkrechte metallische Nano- und Mikrodrähte mit hohem Aspektverhältnis als neuartige Federelemente in Mikrosystemen
Autoren:
Greiner, F.; Eberhardt, J.; Schlaak, H. F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
12
Sensorentwicklung für energieautarke Mikrosysteme in Werkzeugmaschinen
Autoren:
Staufenbiel, Sebastian; Biehl, Saskia; Lampe, Christina; Bertram, Oliver
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
13
Sensornetzwerke integriert in textilverstärkten Verbundwerkstoffen
Autoren:
Heinig, Andreas; Kunadt, Andreas; Fischer, Wolf-Joachim; Pfeifer, Günther
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
14
Sensorsystem zur thermischen Analyse von Gasgemischen
Autoren:
Kliche, Kurt; Billat, Sophie; Messner, Stephan; Zengerle, Roland
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
15
Si Stencil-Masken für die Herstellung organischer Dünnschicht-Transistoren
Autoren:
Letzkus, F.; Zaki, T.; Richter, H.; Butschke, J.; Burghartz, J. N.; Klauck, H.; Ante, F.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
16
Silicium-Membranpumpe in Oberflächen-Mikromechanik
Autoren:
Dannenberg, A.; Dorrer, C.; Reichenbach, R.; Zengerle, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
17
Silizium Nanodraht-Transistoren für biomedizinische Anwendungen
Autoren:
Vu, Xuan-Thang; Koppenhöfer, Dieter; Ingebrandt, Sven
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
18
Simulation und Verifikation der Vibrationsempfindlichkeit von mikromechanischen Drehratensensoren im Automobilbereich
Autoren:
Lohmann, Jasmin; Albrecht, Veit; Schmid, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
19
SiO2 Membransysteme zur Abstimmung von photonischen SOI-Wellenleitern
Autoren:
Amthor, Julia; Horn, Oliver; Lipka, Timo; Savov, Angel; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011
20
Smarte adaptive-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung
Autoren:
Burkhardt, T.; Burkhardt, T.; Bruchmann, C.; Bruchmann, C.; Kamm, A.; Hornaff, M.; Beckert, E.; Gebhardt, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Tünnermann, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011