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1

Optimierung von Andruckstrukturen für Mikrobrennstoffzellen in Leichtbauweise

Autoren:
Wagner, S.; Krumbholz, S.; Andre, F.; Anders, H.; Hahn, R.; Reichl, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

2

Optimisation of surface quality of 3D silicon master forms for injection molding of optical micro elements

Autoren:
Ivanov, A.; Kovacs, A.; Kovacs, A.; Mescheder, U.; Mescheder, U.; Kuhn, S.; Kübler, M.; Burr, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

3

Optische Qualität und Systemverhalten von adaptiven Silikonmembranlinsen

Autoren:
Schneider, Florian; Draheim, Jan; Waibel, Philipp; Müller, Claas; Wallrabe, Ulrike
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

4

Optische Wellenleiter aus amorphem Silizium

Autoren:
Lipka, Timo; Harke, Alexander; Horn, Oliver; Amthor, Julia; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

5

Packaging von selbstaktuierten piezoresistiven Cantilver-Feldern

Autoren:
Bischoff, Gernot; Drüe, Karl-Heinz; Müller, Jens; Sarov, Yanko; Frank, Andreas; Zöllner, Jens-Peter; Ivanov, Tzvetan; Rangelow, Ivo W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

6

Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik

Autoren:
Vonderschmidt, Stefan; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

7

Parylen C basierte organische Schaltungen für Applikationen in Implantaten

Autoren:
Feili, D.; Schuettler, M.; Seidel, H.; Stieglitz, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

8

PDMS-Mikrokomponenten für die Abtrennung von Biomasse zur Integration in Lab-on-a-Chip Systemen

Autoren:
Demming, S.; Balck, A.; Emeis, R.; Al-Halhouli, A. T.; Büttgenbach, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

9

Performance of a Planar Micro-Flame Ionization Detector

Autoren:
Kuipers, Winfred; Müller, Jörg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

10

pH- Messung mit Iridiumoxid-beschichteten Mikroelektroden

Autoren:
Wirths, W.; Wiest, J.; Remm, M.; H. Grothe; Wolf, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

11

Physiologische Assays in einem DVD Player am Beispiel der Messung des Hämatokrit

Autoren:
Burger, J.; Mark, D.; Roth, G.; Müller, C.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Stetten, F. von; Stetten, F. von; Park, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

12

Piezoresistive Dünnschichtsensorik integriert in Unterlegscheibensystemen zur Kraftmessung

Autoren:
Biehl, Saskia; Staufenbiel, Sebastian
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

13

Plasma-unterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung Dünner Hermetischer Borosilikatglasschichten im Wafer-Level-Packaging

Autoren:
Maus, S.; Hansen, U.; Leib, J.; Töpper, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

14

Plasmagestützte Oberflächenmodifizierung in fluidischen Systemen mit gedeckelten Kavitäten

Autoren:
Eichler, Marko; Thomas, Michael; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

15

Platform for lab-on-a-chip systems based on integrated active valves made in polymers suitable for mass production

Autoren:
Rupp, J.; Schmidt, M.; Günther, B.; Stumber, M.; Rothacher, P.; Zengerle, R.; Daub, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

16

Polarisationsempfindliche Photodioden und Bildsensoren mit integrierten Nanostrukturen in Standard-CMOS

Autoren:
Junger, Stephan; Tschekalinskij, Wladimir; Verwaal, Nanko; Spinnler, Klaus; Weber, Norbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

17

Polytronische Mikrosysteme

Autoren:
Bock, Karlheinz; Bock, Karlheinz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

18

Produktion von bioartifiziellen Mikrotransplantaten für die Diabetestherapie durch eine neuartige mikrofluidische Anlage

Autoren:
Ehrhart, Friederike; Katsen-Globa, Alisa; Wiedemeier, Stefan; Weyand, Esther; Weber, Mathias M.; Sukhorukov, Vladimir L.; Zimmermann, Ulrich; Metze, Josef; Zimmermann, Heiko; Zimmermann, Heiko
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

19

Reaktionskalorimetrie in Mikroreaktoren: Schnelles Reaktionsscreening und Prozessdesign

Autoren:
Antes, J.; Gegenheimer, M.; Loebbecke, S.; Knorr, A.; Wirker, R.; Fritzsche, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

20

Rechnergestützte Formoptimierung von urgeformten Mikrobauteilen

Autoren:
Albers, Albert; Enkler, Hans-Georg
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009