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181

Redoxpolymer-basierte Enzymelektroden für Biobrennstoffzellen und Biosensoren

Autoren:
Bunte, C.; Prucker, O.; Rühe, J.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

182

Robotergestütztes Mess- und Handlingsystem für Qualitätsmessungen an Mikroteilen

Autoren:
Battenberg, Günther; Kremper, Alexander
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

183

Robustness Validation for MEMS

Autoren:
Jäger, B.; Kanert, W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

184

Routing-Protokoll für komplexe energieautarke Funknetze

Autoren:
Schmidt, F.; Heller, W.; Rahusen, D.; Sikora, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

185

Schaltung zur effektiven Nutzung der Energie aus piezoelektrischen Quellen

Autoren:
Menacher, M.; Schwesinger, Norbert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

186

Schichtdickenmessungen an ultradicken Mehrschicht-Mikrostrukturen

Autoren:
Engelke, R.; Richter, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

187

Schnelle Mischung in Mikrofluidsegmenten für die Herstellung binärer Metall-Nanopartikel mit enger Größenverteilung

Autoren:
Knauer, Andrea; Steinfeld, Norbert; Romanus, Henry; Köhler, J. Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

188

Segmentierte Prozessführung in mikrofluidischen Bauteilen

Autoren:
Boskovic, Dusan; Mendl, Alexander; Türcke, Tobias; Schwarzer, Maud; Röseling, Dirk; Löbbecke, Stefan
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

189

Selbstorganisierte Chipmontage

Autoren:
Boufercha, Nourdin; Schurz, Michael; Sägebarth, Joachim; Sandmaier, Hermann
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

190

Selbstorganisierte Nanostrukturen in Kieselglas für neue Technologiekonzepte in MEMS, MOEMS und BioMEMS

Autoren:
Lilienthal, Katharina; Fischer, Michael; Stubenrauch, Mike; Schober, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

191

Senkerosion von Mikrostrukturen in gesintertem, elektrisch isolierendem ZrO2

Autoren:
Hösel, T.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

192

Silizium basier te O2-FET Biosensoren für die zellulär e Diagnostik Silicon-based O2-FET biosensor s for cellular diagnostics

Autoren:
Eminaga, Yazay; Wiest, Joachim; Brischwein, Martin; Grothe, Helmut; Wolf, Bernhard; Wolf, Bernhard
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

193

Simulation des Laserabgleichs von Dünnfilmwiderständen mit Widerstandsnetzwerk im Schaltungssimulator

Autoren:
Vogt, Holger; Vogt, Hendrik
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

194

Solare Wasserstoffgewinnung für Mikrobrennstoffzellen

Autoren:
Bretthauer, C.; Domke, J.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

195

Solid-Liquid-Interdiffusion Bonding für 3D-Integration und Wafer-Level-Packaging

Autoren:
Baum, M.; Hofmann, L.; Wiem, M.; Geßner, T.; Geßner, T.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

196

StarJet: Pneumatische Erzeugung von Nano- bis Picoliter Tropfen flüssigen Lötzinns in einer sternförmigen Düse

Autoren:
Metz, Tobias; Metz, Tobias; Birkle, Gerhard; Birkle, Gerhard; Ziegler, Christoph; Ziegler, Christoph; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Koltay, Peter; Koltay, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

197

Stirnwellen in Kavitäten von mikrostrukturierten Plasmastempeln

Autoren:
Ermel, Vladimir; Kurrat, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

198

Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures

Autoren:
Schneider, A.; Rank, H.; Müller-Fiedler, R.; Wittler, O.; Reichl, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

199

Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures

Autoren:
Schneider, A.; Rank, H.; Müller-Fiedler, R.; Wittler, O.; Reichl, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

200

Stress Measurement with High Spatial Resolution on microsystem components

Autoren:
Vogel, Dietmar; Michel, Bernd; Gollhardt, Astrid
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009