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21

Bistabiles Schalten mit einem thermoelektrisch getriebenen thermopneumatischen Aktuator

Autoren:
Huesgen, Till; Ruhhammer, Johannes; Woias, Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

22

Blasformen von Mikrofluidikstrukturen für Lab-on-Foil Anwendungen

Autoren:
Focke, Maximilian; Faltin, Bernd; Müller, Claas; Zengerle, Roland; Zengerle, Roland; Stetten, Felix von; Stetten, Felix von
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

23

Bondenergie-Messung in situ während des Temperns beim Direktbonden von Glas und Silizium

Autoren:
Eichler, Marko; Michel, Benedikt; Hennecke, Philipp; Klages, Claus-Peter; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

24

Branchenanalyse des Kompetenzfelds „Optische Technologien - Mikrosystemtechnik“ in Berlin-Brandenburg

Autoren:
Stens, Eberhard; Rössler, Gerrit
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

25

Breitbandige LGA-Übergänge von Leiterplatte zu LTCC für Frequenzen bis 67 GHz

Autoren:
Schulz, Alexander; Rentsch, Sven; Müller, Jens
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

26

CFD Simulation and Analysis of Micro Bubble Generating Nozzles for Microreactors

Autoren:
Lang, P.; Woias, P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

27

Charakterisierung eines kapazitiven Positionserfassungssystems für einen Lorentzkraft betriebenen Mikroroboter

Autoren:
Boese, Christoph; Feldmann, Marco; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

28

Chipintegrierte PEM-Brennstoffzellenkaskaden als On-Chip Energieversorgung

Autoren:
Erdler, G.; Uhl, L.; Kuhl, M.; Manoli, Y.; Frank, M.; Müller, C.; Reinecke, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

29

CMOS kompatible RF MEMS Schalter

Autoren:
Klein, S.; Bittner, A.; Schmid, U.; Seidel, H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

30

CMOS Post-Processing für kompakte, intelligente Mikrosysteme

Autoren:
Vogt, Holger
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

31

CMOS Stressmesssystem zur Charakterisierung von Belastungen auf MEMS Bauteile

Autoren:
Unterhofer, Katrin; Schreier-Alt, Thomas; Schindler-Saefkow, Florian; Ansorge, Frank; Kittel, Hartmut
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

32

CMOS-integrierte Wandlerschaltung zur optimierten Leistungsentnahme aus Piezogeneratoren

Autoren:
Hehn, Thorsten; Manoli, Yiannos; Manoli, Yiannos
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

33

Coil topology optimization method for electromagnetic vibration energy harvesting devices

Autoren:
Spreemann, D.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

34

Combined MEMS Inertial Sensors for IMU Applications

Autoren:
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

35

Compact RF Model for S-Parameter Characteristics of RF-MEMS Capacitive Switches

Autoren:
Kaynak, M.; Zihir, S.; Gurbuz, Y.; Tillack, B.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

36

Deformationsanalyse an biologischen Modellsystemen

Autoren:
Lietzau, Kai-Henning; Chrzumnicka, Ewa; Göpfrich, Armin; Pfüger, Markus; Inwersen, Jan; Vogt, Thomas; Foitzik, Andreas H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

37

Der Nanoklettverschluss als Verbindungselement in der Nanopositionier- und Nanomesstechnik

Autoren:
Hoffmann, Martin; Wystup, Clemens
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

38

Design und Montagetechnologien miniaturisierter Laserstrahlquellen für den sichtbaren Spektralbereich

Autoren:
Sahm, A.; Fiebig, C.; Paschke, K.; Erbert, G.; Tränkle, G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

39

Design, Fertigung und messtechnische Untersuchungen eines Mikroreluktanzaktors

Autoren:
Hansen, S.; Bütefisch, S.; Gatzen, H. H.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009

40

Die Ausbildung von Mikrotechnologen als Kooperationsschwerpunkt im Zentrum für Mikroproduktion e. V.

Autoren:
Kirchhoff, Maren Ramona; Leester-Schädel, Monika
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2009